[实用新型]复合掩膜板、复合掩膜板组件有效
| 申请号： | 201420427240.5 | 申请日： | 2014-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN204325516U | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 孙尚传 | 申请（专利权）人： | 安徽省大富光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/10 | 分类号： | C25D1/10;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 何青瓦 |
| 地址： | 233000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种复合掩膜板，其包括：支撑片材以及在支撑片材的第一表面通过电铸工艺生长出的掩膜图案，其中掩膜图案具有多个第一开口，支撑片材的与第一表面相对的第二表面形成有多个第二开口，第二开口与第一开口连通，进而形成掩膜通道。本实用新型还公开了一种复合掩膜板组件，通过上述方式，本实用新型能够使得掩膜图案上的第一开口尺寸可以做的更小，掩膜图案更加精细，从而可以提高最终的OLED产品的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 掩膜板 组件 | ||
【主权项】：
一种复合掩膜板，其特征在于，所述复合掩膜板包括支撑片材以及在所述支撑片材的第一表面通过电铸工艺生长出的掩膜图案，其中所述掩膜图案具有多个第一开口，所述支撑片材的与所述第一表面相对的第二表面形成有多个第二开口，所述第二开口与所述第一开口连通，进而形成掩膜通道。
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