[实用新型]一种基于微流控芯片的电磁微泵

摘要

本实用新型公开了一种基于微流控芯片的电磁微泵，包括微流控芯片、第一磁铁组、第二磁铁组和第三磁铁组；微流控芯片包括由上至下依次封接的盖板、弹性薄膜和基板；基板上的第一微通道通过弹性薄膜上的通孔Ⅰ和盖板上的进流孔与外界连通；基板上的第三微通道通过弹性薄膜上的通孔Ⅱ和盖板上的出流孔与外界连通；第一磁铁组、第二磁铁组和第三磁铁组分别包括上下对应设置的一个电磁铁和一个永磁铁；磁铁组的一个磁铁通过盖板上的磁铁安放孔与弹性薄膜固定，另一个磁铁设置在基板的下方；磁铁组的磁铁分别和基板上的第一隔离壁、第二微通道和第二隔离壁位置上下对应；本实用新型操作简单、响应速度快、容易控制泵的流量。

主权项

一种基于微流控芯片的电磁微泵，其特征在于：所述电磁微泵包括微流控芯片、第一磁铁组、第二磁铁组和第三磁铁组； 所述微流控芯片包括由上至下依次封接的盖板(1)、弹性薄膜(2)和基板(3)； 所述盖板(1)上从左至右依次设置有进流孔(10)、磁铁安放孔Ⅰ(11)、磁铁安放孔Ⅱ(12)、磁铁安放孔Ⅲ(13)和出流孔(14)；所述进流孔(10)、磁铁安放孔Ⅰ(11)、磁铁安放孔Ⅱ(12)、磁铁安放孔Ⅲ(13)和出流孔(14)均为通孔； 所述弹性薄膜(2)上设置有与所述进流孔(10)同轴心的通孔Ⅰ(20)和与所述出流孔(14)同轴心的通孔Ⅱ(21)； 所述基板(3)上从左至右依次加工有第一微通道(30)、第二微通道(31)和第三微通道(32)；所述第一微通道(30)和所述第二微通道(31)之间形成第一隔离壁(33)；所述第二微通道(31)和所述第三微通道(32)之间形成第二隔离壁(34)；所述第一微通道(30)通过所述通孔Ⅰ(20)和所述进流孔(10)与外界连通；所述第一隔离壁(33)设置在所述磁铁安放孔Ⅰ(11)的正下方；所述第二微通道(31)设置在所述磁铁安放孔Ⅱ(12)的正下方；所述第二隔离壁(34)设置在所述磁铁安放孔Ⅲ(13)的正下方；所述第三微通道(32)通过所述通孔Ⅱ(21)和所述出流孔(14)与外界连通； 所述第一磁铁组包括上下相对设置的磁铁Ⅰ(40)和磁铁Ⅱ(41)；所述磁铁Ⅰ(40)设置在所述磁铁安放孔Ⅰ(11)中，且固定安装在所述弹性薄膜(2)上；所述磁铁Ⅱ(41)设置在所述基板(3)的下方；所述磁铁Ⅰ(40)和所述磁铁Ⅱ(41)一个为永磁铁，另一个为电磁铁； 所述第二磁铁组包括上下相对设置的磁铁Ⅲ(50)和磁铁Ⅳ(51)；所述磁铁Ⅲ(50)设置在所述磁铁安放孔Ⅱ(12)中，且固定安装在所述弹性薄膜(2)上；所述磁铁Ⅳ(51)设置在所述基板(3)的下方；所述磁铁Ⅲ(50)和所述磁铁Ⅳ(51)一个为永磁铁，另一个为电磁铁； 所述第三磁铁组包括上下相对设置的磁铁Ⅴ(60)和磁铁Ⅵ(61)；所述磁铁Ⅴ(60)设置在所述磁铁安放孔Ⅲ(13)中，且固定安装在所述弹性薄膜(2)上；所述磁铁Ⅵ(61)设置在所述基板(3)的下方；所述磁铁Ⅴ(60)和所述磁铁Ⅵ(61)一个为永磁铁，另一个为电磁铁。