[实用新型]一种基于微流控芯片的电磁微泵

权利要求书

1.一种基于微流控芯片的电磁微泵，其特征在于：所述电磁微泵包括微流控芯片、第一磁铁组、第二磁铁组和第三磁铁组；

所述微流控芯片包括由上至下依次封接的盖板(1)、弹性薄膜(2)和基板(3)；

所述盖板(1)上从左至右依次设置有进流孔(10)、磁铁安放孔Ⅰ(11)、磁铁安放孔Ⅱ(12)、磁铁安放孔Ⅲ(13)和出流孔(14)；所述进流孔(10)、磁铁安放孔Ⅰ(11)、磁铁安放孔Ⅱ(12)、磁铁安放孔Ⅲ(13)和出流孔(14)均为通孔；

所述弹性薄膜(2)上设置有与所述进流孔(10)同轴心的通孔Ⅰ(20)和与所述出流孔(14)同轴心的通孔Ⅱ(21)；

所述基板(3)上从左至右依次加工有第一微通道(30)、第二微通道(31)和第三微通道(32)；所述第一微通道(30)和所述第二微通道(31)之间形成第一隔离壁(33)；所述第二微通道(31)和所述第三微通道(32)之间形成第二隔离壁(34)；所述第一微通道(30)通过所述通孔Ⅰ(20)和所述进流孔(10)与外界连通；所述第一隔离壁(33)设置在所述磁铁安放孔Ⅰ(11)的正下方；所述第二微通道(31)设置在所述磁铁安放孔Ⅱ(12)的正下方；所述第二隔离壁(34)设置在所述磁铁安放孔Ⅲ(13)的正下方；所述第三微通道(32)通过所述通孔Ⅱ(21)和所述出流孔(14)与外界连通；

所述第一磁铁组包括上下相对设置的磁铁Ⅰ(40)和磁铁Ⅱ(41)；所述磁铁Ⅰ(40)设置在所述磁铁安放孔Ⅰ(11)中，且固定安装在所述弹性薄膜(2)上；所述磁铁Ⅱ(41)设置在所述基板(3)的下方；所述磁铁Ⅰ(40)和所述磁铁Ⅱ(41)一个为永磁铁，另一个为电磁铁；

所述第二磁铁组包括上下相对设置的磁铁Ⅲ(50)和磁铁Ⅳ(51)；所述磁铁Ⅲ(50)设置在所述磁铁安放孔Ⅱ(12)中，且固定安装在所述弹性薄膜(2)上；所述磁铁Ⅳ(51)设置在所述基板(3)的下方；所述磁铁Ⅲ(50)和所述磁铁Ⅳ(51)一个为永磁铁，另一个为电磁铁；

所述第三磁铁组包括上下相对设置的磁铁Ⅴ(60)和磁铁Ⅵ(61)；所述磁铁Ⅴ(60)设置在所述磁铁安放孔Ⅲ(13)中，且固定安装在所述弹性薄膜(2)上；所述磁铁Ⅵ(61)设置在所述基板(3)的下方；所述磁铁Ⅴ(60)和所述磁铁Ⅵ(61)一个为永磁铁，另一个为电磁铁。

2.根据权利要求1所述的一种基于微流控芯片的电磁微泵，其特征在于所述盖板(1)和所述基板(3)由PMMA材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种基于微流控芯片的电磁微泵，其特征在于所述弹性薄膜(2)由PDMS材料制成。

4.根据权利要求1所述的一种基于微流控芯片的电磁微泵，其特征在于所述磁铁Ⅰ(40)、磁铁Ⅲ(50)和磁铁Ⅴ(60)为永磁铁；所述磁铁Ⅱ(41)、磁铁Ⅳ(51)和磁铁Ⅵ(61)为电磁铁。

5.根据权利要求1所述的一种基于微流控芯片的电磁微泵，其特征在于所述第一微通道(30)一端设置有进流槽(301)；所述进流槽(301)与所述进流孔(10)位置上下对应；所述第二微通道(31)上设置有储流槽(311)；所述储流槽(311)与所述磁铁安放孔Ⅱ(12)位置上下对应；所述第三微通道(32)一端设置有出流槽(321)；所述出流槽(321)与所述出流孔(14)位置上下对应。

6.根据权利要求5所述的一种基于微流控芯片的电磁微泵，其特征在于所述第一微通道(30)、所述第二微通道(31)和所述第三微通道(32)均为直形通道；所述进流槽(301)与所述进流孔(10)同轴心且直径相同；所述储流槽(311)与所述磁铁安放孔Ⅱ(12)同轴心且直径相同；所述出流槽(321)与所述出流孔(14)同轴心且直径相同。

7.根据权利要求6所述的一种基于微流控芯片的电磁微泵，其特征在于所述储流槽(311)设置在所述第二微通道(31)的中间位置。