[实用新型]液刀装置及蚀刻设备有效
| 申请号： | 201420346519.0 | 申请日： | 2014-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN203904459U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 周斌 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 230011 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种液刀装置及蚀刻设备，所述液刀装置包括：液刀本体，所述液刀本体设有用于在第一状态时通入蚀刻药液以喷淋蚀刻药液，在第二状态时通清洗液以喷淋清洗液进行清洗的喷淋管；及，与所述液刀本体连接的旋转机构，用于旋转所述液刀本体，以使在所述第一状态时所述喷淋管以第一喷淋角度喷淋蚀刻药液，在所述第二状态时所述喷淋管以第二喷淋角度喷淋清洗液。本实用新型所提供的液刀装置，可以利用清洗液对液刀内的喷淋管进行清洗，改善液刀堵塞的状况，减少蚀刻不均，改善产品品质。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 蚀刻 设备 | ||
【主权项】：
一种液刀装置，其特征在于，包括：液刀本体，所述液刀本体设有用于在第一状态时通入蚀刻药液以喷淋蚀刻药液，在第二状态时通入清洗液以喷淋清洗液进行清洗的喷淋管；及，与所述液刀本体连接的旋转机构，用于旋转所述液刀本体，以使在所述第一状态时所述喷淋管以第一喷淋角度喷淋蚀刻药液，在所述第二状态时所述喷淋管以第二喷淋角度喷淋清洗液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司，未经合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420346519.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：起动机用电磁开关总成
- 下一篇：能够多形式触通的常开型开关
