[实用新型]液刀装置及蚀刻设备

权利要求书

1.一种液刀装置，其特征在于，包括：

液刀本体，所述液刀本体设有用于在第一状态时通入蚀刻药液以喷淋蚀刻药液，在第二状态时通入清洗液以喷淋清洗液进行清洗的喷淋管；及，

与所述液刀本体连接的旋转机构，用于旋转所述液刀本体，以使在所述第一状态时所述喷淋管以第一喷淋角度喷淋蚀刻药液，在所述第二状态时所述喷淋管以第二喷淋角度喷淋清洗液。

2.根据权利要求1所述的液刀装置，其特征在于，

所述旋转机构包括：

能够带动所述液刀本体旋转的旋转轴，至少设置于所述液刀本体的一端；

及，用于驱动所述旋转轴旋转的驱动装置。

3.根据权利要求2所述的液刀装置，其特征在于，

所述驱动装置包括：

与所述旋转轴传动连接的驱动电机；

和/或，与所述旋转轴传动连接的旋转手柄。

4.根据权利要求1所述的液刀装置，其特征在于，

所述液刀装置还包括：用于控制所述液刀本体的旋转角度的旋转角度控制机构。

5.根据权利要求4所述的液刀装置，其特征在于，

所述旋转角度控制机构包括：用于测量所述液刀本体的旋转角度的角度测量装置；所述角度测量装置包括：

基座，所述液刀本体在所述旋转机构带动下相对所述基座旋转；

设置于所述基座上的角度量尺；

及，设置于所述液刀本体上的标记，所述标记用于在所述液刀本体旋转时，通过获取所述标记与所述角度量尺的位置关系，确定所述液刀本体的旋转角度。

6.根据权利要求5所述的液刀装置，其特征在于，

所述标记包括：设置于所述液刀本体上，并延伸至所述角度量尺上的指针；或者，设置于所述液刀本体的外表面上的标记线。

7.根据权利要求5所述的液刀装置，其特征在于，

所述旋转角度控制机构还包括：

用于获取所述角度测量装置的测量结果的获取装置；

及，用于根据所述角度测量装置的测量结果，控制所述旋转机构的工作状态的控制装置。

8.根据权利要求1所述的液刀装置，其特征在于，

所述液刀装置还包括：

用于为所述喷淋管提供蚀刻药液的第一液体储存装置；

及，用于为所述喷淋管提供清洗液的第二液体储存装置；

其中，所述喷淋管的进液口分别与所述第一液体储存装置及所述第二液体储存装置连通，且所述第一液体储存装置与所述喷淋管的进液口之间设置第一阀门，所述第二液体储存装置与所述喷淋管的进液口之间设置第二阀门。

9.根据权利要求8所述的液刀装置，其特征在于，

所述第一液体储存装置包括：设置于所述液刀本体下方、用于接收所述液刀本体喷淋的蚀刻药液并使蚀刻药液附着于基板进行蚀刻处理的蚀刻槽；

所述第二液体储存装置包括：位于所述蚀刻槽的一侧、用于接收所述液刀本体喷淋的清洗液的清洗液回收槽。

10.一种蚀刻设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的液刀装置。