[实用新型]研磨头及研磨装置有效
| 申请号： | 201420330213.6 | 申请日： | 2014-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN203887682U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 唐强;马智勇;肖德元;徐依协 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/27 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种研磨头及研磨装置，通过在所述限位环的底部设置若干第一槽和若干第二槽；第一槽的分布方向与研磨头旋转的方向保持一致，第二槽的分布方向与研磨头旋转的方向相反，在进行化学机械研磨时，研磨残渣大部分可由所述第一槽排出去，少部分由所述第二槽排出去，进而避免了所有研磨残渣均由方便研磨液流通的第二槽排出，容易沉积研磨残渣，造成研磨液流通不畅、晶圆出现损伤的现象，提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨头，其特征在于，包括：本体、设置于所述本体上的限位环；其中，所述限位环的底部设置有若干第一槽和若干第二槽；所述第一槽的分布方向与所述研磨头旋转的方向保持一致，所述第二槽的分布方向与所述研磨头旋转的方向相反。
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