[实用新型]一种可测转子表面温度的牵引式分子泵

摘要

本实用新型公开了一种可测转子表面温度的牵引式分子泵，包括外壳，在外壳内部设置有转子，在外壳内部设置有第一级分子泵，与第一级分子泵过盈连接的第三级分子泵，第三级分子泵和端面法兰连接，第二级分子泵安装在第三级分子泵的装配槽中。红外探头的测温导线依次通过第三级分子泵线槽、端面法兰线槽与端面测温装置相连。径向测温装置的测量端穿过外壳、靠近第一级分子泵的外壁。本实用新型的第二级分子泵和第三级分子泵的可拆装结构，可以保证在分子泵正常运行的情况下，调试和安装端面测温装置，径向测温装置有大范围的轴向选择空间。测温时，转子既可以处于静止状态、也可以处于转动状态，操作方便。

主权项

一种可测转子表面温度的牵引式分子泵，包括圆筒形外壳（9），在外壳（9）内部设置有圆柱形转子（8），其特征在于：在所述的外壳（9）内部、转子（8）外围、且与转子（8）同轴设置有第一级分子泵（1），与第一级分子泵（1）过盈连接的第三级分子泵（2），第三级分子泵（2）与端面法兰（3）连接，第二级分子泵（7）固定在第三级分子泵（2）的装配槽（28）中，第一级分子泵（1）为圆筒形，在圆形内壁形成螺旋导气槽（30），第二级分子泵（7）为圆盘形，在其下端面形成多个沿圆周均布的第二级槽壁B段（21）和第二级抽气槽B段（22）、并相间分布；第三级分子泵（2）为厚壁圆筒形、在其下部形成圆环形的装配槽（28），在其中间形成中心通孔（31），中心通孔（31）的内壁形成螺旋导气槽（30），在其下端面形成多个沿圆周均布的第二级抽气槽A段（18）和第二级槽壁A段（17）、并相间分布；红外探头（29）安装在第三级红外探头孔（15）中，其测温导线依次通过第三级分子泵线槽（19）、端面法兰线槽（25）与固定在端面法兰（3）中的端面测温装置（4）相连，端面测温装置（4）固定在测温装置安装孔（27）中，径向测温装置（5）的测量端穿过外壳（9）、靠近第一级分子泵（1）的外壁。