[实用新型]一种可测转子表面温度的牵引式分子泵

权利要求书

1.一种可测转子表面温度的牵引式分子泵，包括圆筒形外壳（9），在外壳（9）内部设置有圆柱形转子（8），其特征在于：在所述的外壳（9）内部、转子（8）外围、且与转子（8）同轴设置有第一级分子泵（1），与第一级分子泵（1）过盈连接的第三级分子泵（2），第三级分子泵（2）与端面法兰（3）连接，第二级分子泵（7）固定在第三级分子泵（2）的装配槽（28）中，第一级分子泵（1）为圆筒形，在圆形内壁形成螺旋导气槽（30），第二级分子泵（7）为圆盘形，在其下端面形成多个沿圆周均布的第二级槽壁B段（21）和第二级抽气槽B段（22）、并相间分布；第三级分子泵（2）为厚壁圆筒形、在其下部形成圆环形的装配槽（28），在其中间形成中心通孔（31），中心通孔（31）的内壁形成螺旋导气槽（30），在其下端面形成多个沿圆周均布的第二级抽气槽A段（18）和第二级槽壁A段（17）、并相间分布；红外探头（29）安装在第三级红外探头孔（15）中，其测温导线依次通过第三级分子泵线槽（19）、端面法兰线槽（25）与固定在端面法兰（3）中的端面测温装置（4）相连，端面测温装置（4）固定在测温装置安装孔（27）中，径向测温装置（5）的测量端穿过外壳（9）、靠近第一级分子泵（1）的外壁。

2.根据权利要求1所述的一种可测转子表面温度的牵引式分子泵，其特征在于：所述的第二级抽气槽A段（18）和第二级抽气槽B段（22）呈连续的放射状弧线、并互相对齐，第二级槽壁A段（17）和第二级槽壁B段（21）呈连续的放射状弧线、并互相对齐。

3.根据权利要求1所述的一种可测转子表面温度的牵引式分子泵，其特征在于：所述的螺旋导气槽（30）截面呈“U”型、且呈右旋状态，所述的第二级抽气槽A段（18）、第二级抽气槽B段（22）的槽型均为变宽度的矩形、并互相对齐。