[实用新型]一种可测转子表面温度的牵引式分子泵

说明书

技术领域

本实用新型属于一种牵引式分子泵，具体涉及一种可测转子表面温度的牵引式分子泵。

背景技术

牵引分子泵是依靠气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，从而将气体分子驱送到泵的出口。牵引式分子泵转子表面温度的变化情况能够直观地反应出该装置的实时工作状态和有关性能，因此温度的实时监控在该装置的研制过程中具有十分重要的意义。当转子以高转速尤其是超高转速进行转动时，转子自身会发生形变，然而转子表面的温度实时测量是十分困难的，并且分子泵自身的结构也较为紧凑无法随意加装测温装置，因此，如何实时监测分子泵中转子表面的温度是该领域的一个难题。

发明内容

本实用新型为解决牵引式分子泵中转子表面的温度无法实时监测这一问题而提出，其目的是提供一种可测转子表面温度的牵引式分子泵。

本实用新型的技术方案是：一种可测转子表面温度的牵引式分子泵，包括圆筒形外壳，在外壳内部设置有圆柱形转子，在所述的外壳内部、转子外围、且与转子同轴设置有第一级分子泵，与第一级分子泵过盈连接的第三级分子泵，第三级分子泵与端面法兰连接，第二级分子泵固定在第三级分子泵的装配槽中，第一级分子泵为圆筒形，在圆形内壁形成螺旋导气槽，第二级分子泵为圆盘形，在其下端面形成多个沿圆周均布的第二级槽壁B段和第二级抽气槽B段、并相间分布；第三级分子泵为厚壁圆筒形、在其下部形成圆环形的装配槽，在其中间形成中心通孔，中心通孔的内壁形成螺旋导气槽，在其下端面形成多个沿圆周均布的第二级抽气槽A段和第二级槽壁A段、并相间分布；红外探头安装在第三级红外探头孔中，其测温导线依次通过第三级分子泵线槽、端面法兰线槽与固定在端面法兰中的端面测温装置相连，端面测温装置固定在测温装置安装孔中，径向测温装置的测量端穿过外壳、靠近第一级分子泵的外壁。

所述的第二级抽气槽A段和第二级抽气槽B段呈连续的放射状弧线、并互相对齐，第二级槽壁A段和第二级槽壁B段呈连续的放射状弧线、并互相对齐。

所述的螺旋导气槽截面呈“U”型、且呈右旋状态，所述的第二级抽气槽A段、第二级抽气槽B段的槽型均为变宽度的矩形、并互相对齐。

本实用新型的第二级分子泵和第三级分子泵的可拆装结构，可以保证在分子泵正常运行的情况下，调试和安装端面测温装置，径向测温装置有大范围的轴向选择空间。测温时，转子既可以处于静止状态、也可以处于转动状态，操作方便。

附图说明

图1 是本实用新型的主视图；

图2 是本实用新型的俯视图；

图3 是本实用新型的端面法兰与各级分子泵安装位置示意图；

图4 是图1中未安装转子、第二级分子泵和外壳时的A向视图；

图5 是图1中未安装转子时的沿B-B线视图；

图6 是本实用新型的第三级分子泵的主视图；

图7 是本实用新型的第三级分子泵仰视图；

图8 是本实用新型的第三级分子泵俯视图；

图9 是本实用新型的第二级分子泵的仰视图；

图10 是本实用新型的第二级分子泵的俯视图；

图11 是图3、6中沿C-C线视图；

图12 是图7、9中沿D-D线视图。

其中：

1  第一级分子泵         2  第三级分子泵

3  端面法兰             4  端面测温装置

5  径向测温装置         6  定位法兰

7  第二级分子泵         8  转子

9  外壳                 10 端面法兰螺钉

11 定位法兰螺钉         12 第二级分子泵螺钉

13 第二分子泵螺纹孔     14 定位法兰螺纹孔

15 第三级红外探头孔     16 第三级分子泵固定孔

17 第二级槽壁A段       18第二级抽气槽A段

19 第三级分子泵线槽     20 第二级分子泵固定孔

21第二级槽壁B段        22第二级抽气槽B段

23 第二级红外探头孔     24 第二级分子泵支撑底座

25 端面法兰线槽         26 端面法兰螺纹孔

27 测温装置安装孔       28 装配槽

29 红外探头             30 螺旋导气槽

31 中心孔               32 上环形凸缘