[实用新型]一种自动除尘装置及镀膜设备有效
申请号: | 201420245819.X | 申请日: | 2014-05-14 |
公开(公告)号: | CN203803861U | 公开(公告)日: | 2014-09-03 |
发明(设计)人: | 艾青南;周贺;张贺攀 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | B08B6/00 | 分类号: | B08B6/00;H01L21/336 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 李迪 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及显示技术领域,具体涉及了自动除尘装置及镀膜设备。该自动除尘装置包括腔体、电极板、放电装置和电源,腔体用于对玻璃基板进行真空与大气的转化;腔体上设有使气体排出的输出端;电极板密封安装于腔体上,电极板上设有用于使气体进入的输入端;放电装置与输入端对应设置,用于使腔体内的尘埃颗粒带电;电源的两极分别连接于电极板和腔体,用于在腔体内形成电场,电场驱动尘埃颗粒移动至输出端。该自动除尘装置利用静电除尘法实现对腔体内尘埃颗粒的清洁,避免了尘埃颗粒漂浮在腔体内而造成对玻璃基板的污染,实现了自动清洁的目的。这一系统结构简单,清洁程度比较彻底,实用性强,而且还不会对设备本身及玻璃基板造成损伤。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动 除尘 装置 镀膜 设备 | ||
【主权项】:
一种自动除尘装置,其特征在于,包括:腔体(1),所述腔体(1)上设有使气体排出的输出端(6);电极板(2),所述电极板(2)密封安装于所述腔体(1)上,电极板(2)上设有用于使气体进入的输入端(5);放电装置(3),所述放电装置(3)与所述输入端(5)对应设置,用于使所述腔体(1)内的尘埃颗粒(7)带电;电源(4),所述电源(4)的两极分别连接于电极板(2)和腔体(1),用于在所述腔体(1)内形成能够驱动尘埃颗粒(7)移动至所述输出端(6)的电场。
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