[实用新型]一种自动除尘装置及镀膜设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种自动除尘装置及镀膜设备。

背景技术

在TFT-LCD(英文名称为Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，中文名称为薄膜晶体管液晶显示器)制造过程中，玻璃基板需要多次往返于各相对独立的生产设备之间以形成薄膜晶体阵列，如真空大气转换单元、冷却加热单元和传送单元等等。在这一过程中由于环境因素及反应腔体自身的尘埃颗粒都会不同程度地污染玻璃基板，使薄膜晶体管形成多种工艺类型如：DGS(英文名称为Data Gate Short，中文名称为栅极线与数据线缩短)、DCS(英文名称为Data Common short，中文名称为数据线与共用电极线缩短)、SD Remain(英文名称为Standard Deviation Remain，中文名称为标准偏差)等工艺不良，对产品的良率造成很大程度上的影响。

薄膜晶体管制造过程中，尘埃颗粒管控一直是我们普遍强调的一项工艺标准，其中主要包括环境中的尘埃颗粒和设备中的尘埃颗粒。对于薄膜晶体管镀膜设备而言，由于反应过程需要在真空环境下进行，因此在玻璃基板进入反应腔体前需要经过真空与大气转换单元。这个单元目前对尘埃颗粒处理方面还处于缺失状态。由于该转换单元需要间断进行真空与大气的切换而且该转化单元还具有冷却玻璃基板的作用，因此玻璃基板反应后表面残留气体反应物会在该转化单元冷却时形成尘埃颗粒而污染该转化单元。

目前，现有采取的除尘措施是定期对该真空与大气转换单元进行手动清理。由于该真空与大气转换单元涉及电路及气体还有维持真空的干泵等装置，因此无法利用液体清洁剂对其进行直接清理，只能对该转化单元内的局部表面进行擦拭清理，清除不彻底；而且在清除时还需要进行停机处理，影响了设备的稼动率。

针对以上不足，需要一种结构简单，能够自动清除真空腔体内的尘埃颗粒，清洁程度彻底且不会对设备本身及玻璃基板造成伤害的自动除尘装置。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是提供了一种自动除尘装置，使得能够自动清除腔体内的尘埃颗粒，清洁程度彻底且不会对设备本身及玻璃基板造成伤害。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种自动除尘装置，包括：

腔体，所述腔体上设有使气体排出的输出端；

电极板，所述电极板密封安装于所述腔体上，电极板上设有用于使气体进入的输入端；

放电装置，所述放电装置与所述输入端对应设置，用于使所述腔体内的尘埃颗粒带电；

电源，所述电源的两极分别连接于电极板和腔体，用于在所述腔体内形成能够驱动尘埃颗粒移动至所述输出端的电场。

其中，所述电极板位于所述腔体的顶部，所述电源的正、负极分别与所述电极板、腔体的底板连接，用于在所述电极板、腔体的底板之间形成能够驱动尘埃颗粒移动至所述输出端的电场。

其中，所述腔体的底板上设有使气体排出的输出端。

其中，所述电极板通过绝缘隔垫片和橡胶密封圈密封安装于所述腔体的顶部，在所述电极板上设有防护罩装置。

其中，所述输入端与输出端之间设有用于防止尘埃颗粒回流的孔板。

其中，所述孔板上设有多个锥形孔和用于支撑玻璃基板的支撑柱，所述锥形孔的形状为一端孔径大，其另一端孔径小。

其中，所述放电装置包括放电针和与所述放电针相连的直流脉冲电源，所述放电针位于输入端处，用于将输入端处的气体电离产生正电荷，所述尘埃颗粒与正电荷结合，并在所述电场的驱动下穿过锥形孔移动至输出端。

其中，所述输出端通过管道连接有用于对腔体抽真空的真空泵。

其中，所述管道上设有真空阀。

本实用新型还提供了一种镀膜设备，包括所述的自动除尘装置。

(三)有益效果