[实用新型]一种自动除尘装置及镀膜设备

权利要求书

1.一种自动除尘装置，其特征在于，包括：

腔体(1)，所述腔体(1)上设有使气体排出的输出端(6)；

电极板(2)，所述电极板(2)密封安装于所述腔体(1)上，电极板(2)上设有用于使气体进入的输入端(5)；

放电装置(3)，所述放电装置(3)与所述输入端(5)对应设置，用于使所述腔体(1)内的尘埃颗粒(7)带电；

电源(4)，所述电源(4)的两极分别连接于电极板(2)和腔体(1)，用于在所述腔体(1)内形成能够驱动尘埃颗粒(7)移动至所述输出端(6)的电场。

2.根据权利要求1所述的自动除尘装置，其特征在于，所述电极板(2)位于所述腔体(1)的顶部，所述电源(4)的正、负极分别与所述电极板(2)、腔体(1)的底板连接，用于在所述电极板(2)、腔体(1)的底板之间形成能够驱动尘埃颗粒(7)移动至所述输出端(6)的电场。

3.根据权利要求2所述的自动除尘装置，其特征在于，所述腔体(1)的底板上设有使气体排出的输出端(6)。

4.根据权利要求2所述的自动除尘装置，其特征在于，所述电极板(2)通过绝缘隔垫片(21)和橡胶密封圈(22)密封安装于所述腔体(1)的顶部，在所述电极板(2)上设有防护罩装置。

5.根据权利要求4所述的自动除尘装置，其特征在于，所述输入端(5)与输出端(6)之间设有用于防止尘埃颗粒(7)回流的孔板(9)。

6.根据权利要求5所述的自动除尘装置，其特征在于，所述孔板(9)上设有多个锥形孔(91)和用于支撑玻璃基板(10)的支撑柱(92)，所述锥形孔(91)的形状为一端孔径大，其另一端孔径小。

7.根据权利要求6所述的自动除尘装置，其特征在于，所述放电装置(3)包括放电针(31)和与所述放电针(31)相连的直流脉冲电源(32)，所述放电针(31)位于输入端(5)处，用于将输入端(5)处的气体电离产生正电荷，所述尘埃颗粒(7)与正电荷结合，并在所述电场的驱动下穿过锥形孔(91)移动至输出端(6)。

8.根据权利要求7所述的自动除尘装置，其特征在于，所述输出端(6)通过管道连接有用于对腔体(1)抽真空的真空泵。

9.根据权利要求8所述的自动除尘装置，其特征在于，所述管道上设有真空阀。

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的自动除尘装置。