[实用新型]固体金属有机化合物封装容器串联系统

摘要

本实用新型涉及一种固体金属有机化合物封装容器串联系统，其包含复数个容器及一主串联件。容器具有用以容置固体金属有机化合物容置空间、具有进气阀之进气管、具有出气阀之出气管及具有横向阀之横向连接管。其中横向连接管连接于进气管与出气管之间，且复数个容器利用串接管以连接其中一容器之进气管与其中另一容器之出气管之方式进行串联，而未被连接的进气管及出气管则连接至金属有机化学气相沉积制程设备。串联套件系供容置容器。藉此，本创作可在提高稳定蒸气气压的同时，提高固体金属有机化合物的使用效率，并减少固体金属有机化合物剩余的浪费。

主权项

一种固体金属有机化合物封装容器串联系统，包含：复数个容器，系分别具有一用以容置固体金属有机化合物之容置空间、一具有一进气阀之进气管、一具有一出气阀之出气管及一具有一横向阀之横向连接管，其特征是所述横向连接管连接于所述进气管与所述出气管之间；所述容器系利用至少一串接管以连接其中一该容器之该进气管与其中另一该容器之该出气管之方式进行串联，且未被连接的进气管及出气管系连接至金属有机化学气相沉积制程设备；该串联系统还包含一串联套件，系供容置和固定该些容器。