[实用新型]固体金属有机化合物封装容器串联系统

权利要求书

1.一种固体金属有机化合物封装容器串联系统，包含：复数个容器，系分别具有一用以容置固体金属有机化合物之容置空间、一具有一进气阀之进气管、一具有一出气阀之出气管及一具有一横向阀之横向连接管，其特征是所述横向连接管连接于所述进气管与所述出气管之间；所述容器系利用至少一串接管以连接其中一该容器之该进气管与其中另一该容器之该出气管之方式进行串联，且未被连接的进气管及出气管系连接至金属有机化学气相沉积制程设备；该串联系统还包含一串联套件，系供容置和固定该些容器。

2.根据权利要求1所述之固体金属有机化合物封装容器串联系统，其特征是所述各容器之该容置空间之底部之横切面系为V字型结构。

3.根据权利要求1所述之固体金属有机化合物封装容器串联系统，其特征是所述横向连接管之一端系连接至所述进气管与所述串接管连接或所述进气管与金属有机化学气相沉积制程设备连接之连接端之间的进气管上，该横向连接管之另一端系连接至所述出气管与所述串接管连接或所述出气管与金属有机化学气相沉积制程设备连接之连接端之间的出气管上，且该横向连接管之两端系分别介于连接处与进气阀之间及连接处与出气阀之间。

4.根据权利要求1所述之固体金属有机化合物封装容器串联系统，其特征是所述横向连接管系连接于当所述进气阀及所述出气阀为关闭且该横向阀为开启时，气体可由未被连接的进气管进入，并由未被连接的进气管排出，而使气体未进入该容置空间之进气管与出气管之间的位置。

5.根据权利要求1所述之固体金属有机化合物封装容器串联系统，其特征是所述串联套件包含二串联件及一串联件支撑管，该串联件支撑管可拆卸地连接于该二串联件之间。

6.根据权利要求5所述之固体金属有机化合物封装容器串联系统，其特征是所述二串联件分别对应所述容器之外形及数量设有复数个容置孔，以供容置该些容器。

7.根据权利要求6所述之固体金属有机化合物封装容器串联系统，其特征是所述各串联件之各容置孔具有一开口，且该串联件沿着各该开口方向分别突出设有二凸部，该开口系位于该二凸部间，其中一凸部系具有一通孔，另一凸部系具有一栓接孔，且藉由复数个栓接元件分别穿过该通孔而栓接于该栓接孔。

8.根据权利要求7所述之固体金属有机化合物封装容器串联系统，其特征是所述二串联件系分别具有一第一组合部及一第二组合部，该串联件支撑管之一端系可拆卸地设置于该第一组合部，该串联件支撑管之另一端系拆卸地设置于该第二组合部。

9.根据权利要求7所述之固体金属有机化合物封装容器串联系统，其特征是所述二串联件系分别由复数个环状结构连接而成。