[实用新型]湿式工作台有效
| 申请号： | 201420103814.3 | 申请日： | 2014-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN203764621U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 钱文明;肖方 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种湿式工作台。相比于传统的湿式工作台，本实用新型所述的湿式工作台通过紧邻内外槽之间的管路设置一用于泄压的第二管路，使得在循环泵停止工作后，湿式工作台的内外槽之间的管路中的处理液不会积压而形成压力，从而解决了循环泵再次启动时由于处理液积压而产生较大流量，使在酸槽中处理的晶圆产生错槽或叠片的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 工作台 | ||
【主权项】：
一种湿式工作台，其特征在于，包括：用于放置待处理晶圆的一内槽；一第一管路；用于回收所述湿式工作台内液体的一外槽，与所述内槽相邻设置，并通过所述第一管路连通所述内槽；设于所述第一管路上的循环泵和回收装置；其特征在于：所述湿式工作台还包括:一第二管路，其第一端连接所述外槽，第二端连接至所述循环泵与所述回收装置之间的第一管路。
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