[实用新型]湿式工作台

权利要求书

1.一种湿式工作台，其特征在于，包括：

用于放置待处理晶圆的一内槽；

一第一管路；

用于回收所述湿式工作台内液体的一外槽，与所述内槽相邻设置，并通过所述第一管路连通所述内槽；

设于所述第一管路上的循环泵和回收装置；

其特征在于：所述湿式工作台还包括:

一第二管路，其第一端连接所述外槽，第二端连接至所述循环泵与所述回收装置之间的第一管路。

2.如权利要求1所述的湿式工作台，其特征在于：所述回收装置包括过滤器与加热器，所述第二管道的第二端连接至所述循环泵与所述过滤器之间的第一管路。

3.如权利要求1所述的湿式工作台，其特征在于：还包括设置于所述第二管路上的阀门。

4.如权利要求3所述的湿式工作台，其特征在于，还包括一控制单元，耦接所述循环泵与所述阀门；其中，当所述循环泵停止工作时，所述控制单元控制所述阀门开启，以泄除所述循环泵与所述回收装置之间的液体压力。

5.如权利要求4所述的湿式工作台，其特征在于：所述控制单元内包括一延时单元，当所述循环泵开始工作后，所述延时单元控制所述阀门延长一定时间后关闭。

6.如权利要求5所述的湿式工作台，其特征在于：所述延时单元为一时间继电器。

7.如权利要求1所述的湿式工作台，其特征在于：所述内槽与外槽通过一挡板隔开，所述挡板上具有排水口。

8.如权利要求1所述的湿式工作台，其特征在于：所述内槽与外槽的形状均为方形。