[实用新型]一种用于MOCVD设备的固体颗粒物过滤器有效
| 申请号： | 201420091896.4 | 申请日： | 2014-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN203724930U | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 陈奉顺;张飞;张家宏;卓昌正;林兓兓 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/52 | 分类号： | B01D46/52 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种用于MOCVD设备的固体颗粒物过滤器，包括多虑器本体、设于侧壁的进气口、顶端的出气口及滤芯，该滤芯上下表面有滤芯密封圈密封并安装在滤芯固定座上，且由螺杆支撑架、螺杆和螺帽固定，后端安装有固定盖板，该滤芯通过密封法兰固定于过滤器壳体内，所述滤芯采用单筒、单支耐高温的玻璃纤维材质构成，使用寿命长，使用过程中反应腔与尾气管路（reactor）压差值稳定，便于精准控制压力，且滤芯可清洗，可重复利用，有效降低使用成本；本实用新型无需对外延生产机台进行设备及管路的改造，兼容性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 mocvd 设备 固体 颗粒 过滤器 | ||
【主权项】：
一种用于 MOCVD设备的固体颗粒物过滤器，包括过滤器本体、设于侧壁的进气口、顶端的出气口及滤芯，该滤芯上下表面有滤芯密封圈密封并安装在滤芯固定座上，且由螺杆支撑架、螺杆和螺帽固定，后端安装有固定盖板，该滤芯通过密封法兰固定于过滤器壳体内，其特征在于：所述滤芯为单筒、单支结构。
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