[实用新型]一种用于MOCVD设备的固体颗粒物过滤器

说明书

技术领域

本实用新型主要涉及过滤装置领域，特别涉及一种用于MOCVD设备外延（Epitaxy）制程中的尾气颗粒过滤系统中的颗粒过滤器。

背景技术

MOCVD设备在外延（Epitaxy）制程过程中会产生大量细小的颗粒，该颗粒为                                                族元素的高纯金属有机化合物（MO源）和族元素的氢化物经过高温、低压反应产生的易燃、易爆、高温、高腐蚀性的固体颗粒。普通的颗粒过滤器使用寿命短，维护频繁，且易造成反应腔与尾气管路（reactor）压差值不稳定，难以稳定控制外延（Epitaxy）制程中反应腔内的压力等问题。

目前行业内气体过滤芯均采用双筒或两级过滤，用于实现尾气过滤，但此设计存在以下缺陷：（1）双筒滤芯两只滤芯通过的气流不均匀；KF接头连接使用过多，密封面多，真空度难以保证；拆装、维护过程复杂，滤芯安装困难、使用成本高；（2）滤芯主要采用网状金属丝或纸质材质，无法重复利用，且纸质滤芯的强度差，容易在使用中破损，容易造成后端的节流阀（碟阀）和制程Pump（泵）的严重损坏；（3）两级滤芯的空间利用率低，过滤面积有限，滤芯使用过程中反应腔（Reactor）与尾气管路之间压差值变化大，不利于外延制程的控制；（4）前后两级多级的滤芯，难以平均使用前后两级的功能，即常常会发生前级完全堵塞而后级滤芯还很干净的情况，后级滤芯根本没有起到有效过滤的作用，滤芯的利用率低。

发明内容

为了克服上述现有设计的不足，本实用新型旨在提供一种用于 MOCVD设备的固体颗粒物过滤器，以有效过滤外延（Epitaxy）制程中尾气中夹杂的大量固体颗粒，且该过滤器的滤芯可清洗，可重复利用，有效降低使用成本；同时，可根据MOCVD设备过滤器腔体的大小进而更改滤芯的直径、折数和折长等，适用性强。

本实用新型的技术方案为：一种用于 MOCVD设备的固体颗粒物过滤器，包括：过滤器本体、设于侧壁的进气口、顶端的出气口及滤芯，该滤芯上下表面有滤芯密封圈密封并安装在滤芯固定座上，且由螺杆支撑架、螺杆和螺帽固定，后端安装有固定盖板；最终该滤芯通过密封法兰固定于过滤器壳体内；其中所述滤芯为单筒、单支结构。

优选的，所述过滤芯的材质为耐高温的玻璃纤维。

优选的，所述滤芯表面采用金属窄条对其加固，降低使用过程中气流对滤芯表面冲击，增加滤芯表面强度。

优选的，所述滤芯褶皱数为70-90折，单折宽度3-5cm，高度H为70-78cm。

优选的，所述滤芯采用单根螺纹杆固定。

优选的，所述滤芯两端分别由两条波浪形设计的密封圈直接粘附于滤芯两端进行密封。

优选的，所述滤芯入口段接于MOCVD设备反应腔的后端，出口连接于碟阀及机台的制成泵之前。

本实用新型至少具有以下有益效果：本实用新型采用单只耐高温材质的滤芯，可以有效过滤外延制程中生成的固体颗粒物；且使用寿命长，使用过程中反应腔（Reactor）与尾气管路压差值稳定，便于精准控制反应腔压力，同时滤芯可清洗，可重复利用，有效降低使用成本；此外，本实用新型无需对外延生产机台进行设备及管路的改造，兼容性强。

附图说明

图1为本实用新型中的一种用于 MOCVD设备的固体颗粒物过滤器的结构示意图。

图2 为本实用新型中的一种用于 MOCVD设备的固体颗粒物过滤器滤芯侧视示意图。

图3 为本实用新型中的一种用于 MOCVD设备的固体颗粒物过滤器滤芯密封圈示意图。

元件标号说明

1 ：过滤器本体

2 ：进气口

3：出气口

4 ：滤芯

5 ：滤材

6 ：前级密封法兰

7：中级密封法兰

8：后级密封法兰

9：固定环

10：固定座

11 ： 螺杆

12：螺杆支撑架

13 ：螺帽

14 ：固定盖板

15：密封圈

16 ：密封圈波浪形密封面。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施案例对本实用新型作进一步的详细描述，有关本实用新型的相关技术内容、特点和功效，将可以清楚的呈现。