[实用新型]一种用于MOCVD设备的固体颗粒物过滤器

权利要求书

1.一种用于 MOCVD设备的固体颗粒物过滤器，包括过滤器本体、设于侧壁的进气口、顶端的出气口及滤芯，该滤芯上下表面有滤芯密封圈密封并安装在滤芯固定座上，且由螺杆支撑架、螺杆和螺帽固定，后端安装有固定盖板，该滤芯通过密封法兰固定于过滤器壳体内，其特征在于：所述滤芯为单筒、单支结构。

2.根据权利要求1所述的一种用于 MOCVD设备的固体颗粒物过滤器，其特征在于：所述滤芯采用耐高温玻璃纤维制成。

3.根据权利要求1所述的一种用于 MOCVD设备的固体颗粒物过滤器，其特征在于：所述滤芯的褶皱数为70-90折。

4.根据权利要求1所述的一种用于 MOCVD设备的固体颗粒物过滤器，其特征在于：所述滤芯的单折宽度L为3-5cm。

5.根据权利要求1所述的一种用于 MOCVD设备的固体颗粒物过滤器，其特征在于：所述滤芯的高度H为70-78cm。

6.根据权利要求1所述的一种用于 MOCVD设备的固体颗粒物过滤器，其特征在于：所述滤芯表面采用金属固定环对其加固，降低使用过程中气流对滤芯表面冲击，增加滤芯表面强度。

7.根据权利要求1所述的一种用于 MOCVD设备的固体颗粒物过滤器，其特征在于：所述螺杆采用单根螺纹杆。

8.根据权利要求1所述的一种用于 MOCVD设备的固体颗粒物过滤器，其特征在于：所述滤芯两端的密封圈为两条波浪形设计的密封圈，且直接粘附于滤芯两端进行密封。

9.根据权利要求1所述的一种用于 MOCVD设备的固体颗粒物过滤器，其特征在于：所述滤芯入口段接于MOCVD设备反应腔的后端，出口连接于碟阀及机台的制成泵之前。