[实用新型]镀膜机用抽真空接口装置及镀膜系统有效
| 申请号： | 201420073797.3 | 申请日： | 2014-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN203834011U | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 阳威;张迅;易伟华 | 申请（专利权）人： | 江西沃格光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 338004 江西省新余*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种镀膜机用抽真空接口装置，包括：本体，为具有开口端及封闭端的筒状结构，且本体的侧壁上设有接口，开口端用于与镀膜机连接，以使本体与镀膜机的腔体连通，接口用于与抽真空设备连接；过滤网，具有容纳腔及缺口，容置于本体内，过滤网具有缺口的部分沿本体的周向固定于本体的开口端的内壁上，用于使过滤网的容纳腔与镀膜机的腔体连通，过滤网远离缺口的部分位于接口与封闭端之间，用于沉积进入容纳腔内的碎片。本实施实用新型还提供一种镀膜系统，该镀膜系统具有较高的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 机用抽 真空 接口 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种镀膜机用抽真空接口装置，其特征在于，包括：本体，为具有开口端及封闭端的筒状结构，且所述本体的侧壁上设有接口，所述开口端用于与镀膜机连接，以使所述本体与镀膜机的腔体连通，所述接口用于与抽真空设备连接；过滤网，具有容纳腔及缺口，容置于所述本体内，所述过滤网具有缺口的部分沿所述本体的周向固定于所述本体的开口端的内壁上，用于使所述过滤网的容纳腔与镀膜机的腔体连通，所述过滤网远离所述缺口的部分位于所述接口与所述封闭端之间，用于沉积进入所述容纳腔内的碎片。
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