[实用新型]镀膜机用抽真空接口装置及镀膜系统有效
| 申请号： | 201420073797.3 | 申请日： | 2014-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN203834011U | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 阳威;张迅;易伟华 | 申请（专利权）人： | 江西沃格光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 338004 江西省新余*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 机用抽 真空 接口 装置 系统 | ||
1.一种镀膜机用抽真空接口装置，其特征在于，包括：
本体，为具有开口端及封闭端的筒状结构，且所述本体的侧壁上设有接口，所述开口端用于与镀膜机连接，以使所述本体与镀膜机的腔体连通，所述接口用于与抽真空设备连接；
过滤网，具有容纳腔及缺口，容置于所述本体内，所述过滤网具有缺口的部分沿所述本体的周向固定于所述本体的开口端的内壁上，用于使所述过滤网的容纳腔与镀膜机的腔体连通，所述过滤网远离所述缺口的部分位于所述接口与所述封闭端之间，用于沉积进入所述容纳腔内的碎片。
2.根据权利要求1所述的镀膜机用抽真空接口装置，其特征在于，所述过滤网远离所述缺口的部分与所述本体的封闭端接触。
3.根据权利要求2所述的镀膜机用抽真空接口装置，其特征在于，所述接口距离所述封闭端的距离为所述本体长度的1/3～1/2。
4.根据权利要求2所述的镀膜机用抽真空接口装置，其特征在于，所述过滤网与所述本体的形状相同，所述过滤网的外壁与所述本体的内壁匹配且接触。
5.根据权利要求4所述的镀膜机用抽真空接口装置，其特征在于，所述本体与所述过滤网呈圆柱体形。
6.一种镀膜系统，其特征在于，包括：
镀膜机，具有腔体；
抽真空设备；及
如权利要求1所述的镀膜机用抽真空接口装置，所述开口端连接于所述镀膜机上，且所述本体及所述过滤网的容纳腔与所述镀膜机的腔体连通；所述接口通过抽气管道与所述抽真空设备连接；
其中，所述本体在所述镀膜系统中位于竖直方向上。
7.根据权利要求6所述的镀膜系统，其特征在于，所述过滤网远离所述缺口的部分与所述本体的封闭端接触。
8.根据权利要求7所述的镀膜系统，其特征在于，所述接口距离所述封闭端的距离为所述本体长度的1/3～1/2。
9.根据权利要求7所述的镀膜系统，其特征在于，所述过滤网与所述本体的形状相同，所述过滤网的外壁与所述本体的内壁匹配且接触。
10.根据权利要求9所述的镀膜系统，其特征在于，所述本体与所述过滤网呈圆柱体形。
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