[实用新型]一种高精度晶棒切割位置标记装置有效
| 申请号： | 201420064387.2 | 申请日： | 2014-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN203611370U | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 廖波;林文杰;李烨 | 申请（专利权）人： | 南京京晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;B28D5/00 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 顾进 |
| 地址： | 210000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高精度晶棒切割位置标记装置，其包含有X射线定位平台，所述X射线定位平台中包括平台底座，以及设置在底座上的X射线发射器、X射线接收器与显示屏；所述显示屏与X射线接收器之间电性连接。所述平台底座上设置有用于固定晶棒的晶棒固定装置，以及用于对晶棒进行标记的晶棒标记装置；所述晶棒固定装置与平台底座之间设置有，可使得晶棒固定装置相对平台底座进行旋转的旋转设置；采用上述技术方案的高精度晶棒切割位置标记装置，其可有效确定晶棒的晶面，并对其进行标记，使得后续晶棒加工中以该标记作为参照，从而在加工中可沿晶棒晶面进行加工，进而获得高质量的晶棒加工产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 切割 位置 标记 装置 | ||
【主权项】：
一种高精度晶棒切割位置标记装置，其包含有X射线定位平台，所述X射线定位平台中包括平台底座，以及设置在底座上的X射线发射器、X射线接收器与显示屏；所述显示屏与X射线接收器之间电性连接，其特征在于，所述平台底座上设置有用于固定晶棒的晶棒固定装置，以及用于对晶棒进行标记的晶棒标记装置；所述晶棒固定装置与平台底座之间设置有，可使得晶棒固定装置相对平台底座进行旋转的旋转设置。
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