[实用新型]一种晶圆清洗装置有效
| 申请号： | 201420031288.4 | 申请日： | 2014-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN203695489U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 唐强;马智勇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆清洗装置，至少包括：两端封闭的弹性套筒；位于所述弹性套筒内并两端固定于所述弹性套筒第一、第二封闭端的轴杆；穿套在所述轴杆上并支撑所述弹性套筒内表面的第一、第二支撑物；分别穿过所述弹性套筒第一、第二封闭端用于使弹性套筒内的第一、第二支撑物左右移动的第一螺纹杆和第二螺纹杆；所述第一螺纹杆和第二螺纹杆分别连接于与其对应的所述第一、第二支撑物；所述第一螺纹杆和第二螺纹杆上分别具有与之啮合的可旋螺母；所述可旋螺母固定于所述弹性套筒封闭两端外部。通过调整所述弹性套筒内的第一、第二支撑物控制其表面刷毛的高低程度，使得刷毛与残留物分布不均匀的晶圆表面形成充分接触从而达到良好的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种晶圆清洗装置，其特征在于，所述晶圆清洗装置至少包括：两端封闭的弹性套筒；位于所述弹性套筒内并两端固定于所述弹性套筒第一、第二封闭端的轴杆；穿套在所述轴杆上并支撑所述弹性套筒内表面的第一、第二支撑物；分别穿过所述弹性套筒第一、第二封闭端用于使弹性套筒内的第一、第二支撑物左右移动的第一螺纹杆和第二螺纹杆；所述第一螺纹杆和第二螺纹杆分别连接于与其对应的所述第一、第二支撑物；所述第一螺纹杆和第二螺纹杆上分别具有与之啮合的可旋螺母；所述可旋螺母固定于所述弹性套筒封闭两端外部。
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