[实用新型]一种晶圆清洗装置有效
| 申请号： | 201420031288.4 | 申请日： | 2014-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN203695489U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 唐强;马智勇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，所述晶圆清洗装置至少包括：
两端封闭的弹性套筒；
位于所述弹性套筒内并两端固定于所述弹性套筒第一、第二封闭端的轴杆；
穿套在所述轴杆上并支撑所述弹性套筒内表面的第一、第二支撑物；
分别穿过所述弹性套筒第一、第二封闭端用于使弹性套筒内的第一、第二支撑物左右移动的第一螺纹杆和第二螺纹杆；
所述第一螺纹杆和第二螺纹杆分别连接于与其对应的所述第一、第二支撑物；
所述第一螺纹杆和第二螺纹杆上分别具有与之啮合的可旋螺母；所述可旋螺母固定于所述弹性套筒封闭两端外部。
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述弹性套筒的形状为圆柱形。
3.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述第一、第二支撑物的形状为球形或椭球形。
4.根据权利要求2或3所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述弹性套筒、轴杆以及第一、第二支撑物的轴心线重合。
5.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述第一、第二支撑物的材料包括橡胶、塑料或轻质金属。
6.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述支撑物与所述轴杆之间的滑动摩擦系数小于0.1。
7.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述支撑物与所述弹性套筒内表面的滑动摩擦系数小于0.1。
8.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述弹性套筒外表面设置有均匀分布的若干刷毛。
9.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述晶圆清洗装置的第一、第二封闭端分别设置有用于使弹性套筒内的第一、第二支撑物左右移动的第三螺纹杆和第四螺纹杆；在所述第三螺纹杆和第四螺纹杆上分别设置有与之啮合的可旋螺母，所述可旋螺母固定于所述弹性套筒封闭两端外部。
10.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述晶圆清洗装置包括与所述轴杆相连的旋转马达。
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