[实用新型]一种掩膜板

摘要

本实用新型涉及掩膜技术领域，特别涉及一种掩膜板，该掩膜板使用寿命长，并可减轻曝光后半透光区对应的光刻胶厚度不均问题。本实用新型公开了一种掩膜板，包括：衬底基板，设置于所述衬底基板上的挡光掩膜层，以及开设于所述挡光掩膜层上的至少一个微孔组，每个所述微孔组在所述挡光掩膜层上形成一个半透光区，每个所述微孔组包括多个透光孔，每个所述透光孔可以增强与其相邻的透光孔边缘的光强度，使透过各透光孔的光线在半透光区均匀分布。

主权项

一种掩膜板，包括：衬底基板，设置于所述衬底基板上的挡光掩膜层，其特征在于，还包括：开设于所述挡光掩膜层上的至少一个微孔组，每个所述微孔组在所述挡光掩膜层上形成一个半透光区，每个所述微孔组包括多个透光孔，每个所述透光孔可增强与其相邻的透光孔边缘的光强度，以使透过各透光孔的光线在半透光区均匀分布。