[实用新型]一种掩膜板

权利要求书

1.一种掩膜板，包括：衬底基板，设置于所述衬底基板上的挡光掩膜层，其特征在于，还包括：开设于所述挡光掩膜层上的至少一个微孔组，每个所述微孔组在所述挡光掩膜层上形成一个半透光区，每个所述微孔组包括多个透光孔，每个所述透光孔可增强与其相邻的透光孔边缘的光强度，以使透过各透光孔的光线在半透光区均匀分布。

2.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，每个所述微孔组中的多个透光孔呈阵列状排布。

3.如权利要求1或2所述的掩膜板，其特征在于，所述挡光掩膜层上开设有多个微孔组，且与不同的掩膜对象对应的不同微孔组中的透光孔的大小不同，以控制透过各微孔组的光通量。

4.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述透光孔为圆形孔。

5.如权利要求4所述的掩膜板，其特征在于，每个所述透光孔的直径为1um～3um。

6.如权利要求5所述的掩膜板，其特征在于，相邻的两个所述透光孔之间的中心距为1um～6um。

7.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述衬底基板为钠钙玻璃基板、硼硅玻璃基板或石英玻璃基板。

8.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述挡光掩膜层为铬金属层或铒金属层。