[发明专利]一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪在审
| 申请号： | 201410855708.5 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104576289A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 梁炎;刘立鹏;郑毅;李刚强;陈斌;杨凯;滕恩江 | 申请（专利权）人： | 聚光科技（杭州）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/26 | 分类号： | H01J49/26;G01N27/62 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 310052 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪，包括：第一真空室、第二真空室、第三真空室、第四真空室；所述电感耦合等离子体质谱仪进一步包括：第一调谐部件，所述第一调谐部件为泵，与各级真空室相连，调节所述各级真空室的压力；第二调谐部件，所述第二调谐部件使各级真空室相互连通，调节所述各级真空室之间的压力。本发明还提供一种电感耦合等离子体质谱仪各级真空室压力的调节方法。本发明具有优化降低空间电荷效应，改善抗质谱干扰和非质谱干扰效果，优化离子传输等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可调 真空 压力 电感 耦合 等离子体 质谱仪 | ||
【主权项】：
一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪，包括：第一真空室，所述第一真空室为接口装置真空室，即采样锥与截取锥的锥间真空室；第二真空室，所述第二真空室连接所述第一真空室和第三真空室；第三真空室，所述第三真空室为传输杆真空室；第四真空室，所述第四真空室为质量分析器真空室；其特征在于：所述电感耦合等离子体质谱仪进一步包括：第一调谐部件，所述第一调谐部件为泵，与各级真空室相连，调节所述各级真空室的压力；第二调谐部件，所述第二调谐部件使各级真空室相互连通，调节所述各级真空室之间的压力。
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