[发明专利]一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪

权利要求书

1.一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪，包括：

第一真空室，所述第一真空室为接口装置真空室，即采样锥与截取锥的锥间真空室；

第二真空室，所述第二真空室连接所述第一真空室和第三真空室；

第三真空室，所述第三真空室为传输杆真空室；

第四真空室，所述第四真空室为质量分析器真空室；

其特征在于：所述电感耦合等离子体质谱仪进一步包括：

第一调谐部件，所述第一调谐部件为泵，与各级真空室相连，调节所述各级真空室的压力；

第二调谐部件，所述第二调谐部件使各级真空室相互连通，调节所述各级真空室之间的压力。

2.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于：所述第一调谐部件可以是机械泵、涡轮分子泵或油扩散泵。

3.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于：所述第二调谐部件为比例阀。

4.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于：所述电感耦合等离子体质谱仪进一步包括：

第三调谐部件，所述第三调谐部件连通气瓶，引入压力调节气体。

5.根据权利要求4所述的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于：所述调节气体可以是但不局限于氦气或氩气。

6.一种电感耦合等离子体质谱仪的真空压力调节方法，包含以下步骤：

(A1)仪器开机、点火，进入调谐阶段；

(A2)通过测试标准样品获得目标参量的最佳值：在标准样品下，对真空压力进行调节，观察质谱仪响应值，得到目标参量最佳状态下的真空压力大小，将真空压力调节在所述目标参量响应值最佳的位置。

7.根据权利要求6所述的真空压力调节方法，其特征在于：所述步骤(A2)中，对真空压力的调节采用先粗调后细调的方式进行调节。

8.根据权利要求6所述的真空压力调节方法，其特征在于：通过第一调谐部件、第二调谐部件、第三调谐部件任一所述的调谐部件进行真空压力的调节或组合各调谐部件进行调节。

9.根据权利要求6所述的真空压力调节方法，其特征在于：采用权利要求1～5任一所述的电感耦合等离子体质谱仪对各级真空室进行真空压力的调节。