[发明专利]薄膜晶体管的制作方法及阵列基板的制作方法

摘要

本发明实施例公开了一种薄膜晶体管的制作方法及阵列基板的制作方法，涉及显示技术领域，能够减少薄膜晶体管的漏电流。该薄膜晶体管的制作方法包括：在衬底基板上形成有源层、栅极绝缘层、栅极、层间绝缘层、源极和漏极，层间绝缘层和栅极绝缘层上设置有对应于源极和漏极的过孔；有源层包括与源极连接的源极欧姆接触区、与漏极连接的漏极欧姆接触区、位于栅极下方的用于作为沟道的沟道区以及位于漏极欧姆接触区与沟道区之间的轻掺杂区，或者，有源层包括与源极连接的源极欧姆接触区、与漏极连接的漏极欧姆接触区、位于栅极下方的用于作为沟道的沟道区以及位于漏极欧姆接触区与沟道区之间和源极欧姆接触区与沟道区之间的两个轻掺杂区。

主权项

一种薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，包括：在衬底基板上形成有源层、栅极绝缘层、栅极、层间绝缘层、源极和漏极，所述层间绝缘层和所述栅极绝缘层上设置有对应于所述源极和所述漏极的过孔；所述有源层包括与所述源极连接的源极欧姆接触区、与所述漏极连接的漏极欧姆接触区、位于所述栅极下方的用于作为沟道的沟道区以及位于所述漏极欧姆接触区与所述沟道区之间的轻掺杂区，或者，所述有源层包括与所述源极连接的源极欧姆接触区、与所述漏极连接的漏极欧姆接触区、位于所述栅极下方的用于作为沟道的沟道区以及位于所述漏极欧姆接触区与所述沟道区之间和所述源极欧姆接触区与所述沟道区之间的两个轻掺杂区。