[发明专利]具有载台的电子显微镜有效
| 申请号： | 201410834759.X | 申请日： | 2014-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN105810542B | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 李信宏;李正宇;江俊霖;蔡昆志;林文地 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 祁建国,梁挥 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种电子显微镜，包括载台、第一驱动单元、稳流单元及电子源。载台承载待测物。第一驱动单元驱动第一液体沿第一流动路径流动，其中第一流动路径通过待测物。稳流单元配置于第一流动路径上以对第一液体进行稳流，其中第一液体依序流经稳流单元及载台。电子源提供电子束至待测物。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电子显微镜 | ||
【主权项】：
一种具有载台的电子显微镜，其特征在于，包括：载台，承载待测物且该载台包括主体，其中该主体具有第一流道，该第一流道内具有稳流斜面；第一驱动单元，驱动第一液体沿第一流动路径流动，其中该第一流动路径通过该待测物；稳流单元，配置于该第一流动路径上以对该第一液体进行稳流，其中该第一液体依序流经该稳流单元、该稳流斜面及该待测物；以及电子源，提供电子束至该待测物。
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