[发明专利]具有载台的电子显微镜

说明书

技术领域

本发明涉及一种电子显微镜，且特别涉及一种具有载台的电子显微镜。

背景技术

一般而言，要观察物质的纳米几何形态最常用的方法为使用原子力显微镜(atomic force microscopy，AFM)及电子显微镜(electron microscope)等设备。使用原子力显微镜测量时，需通过探针来测量待测物的几何形态，此种测量方式不仅探针针尖容易损坏、测量时间长，且样品测量范围较小，电子显微镜则无上述问题。

以扫描式电子显微镜(scanning electron microscope，SEM)而言，其可用于观测液态样品。观测液态样品时需驱动液体流经用于承载样品的薄膜以带走样品的代谢物，或以此液体为媒介添加测量所需药剂至样品，其中，如何避免薄膜因液体的扰动而损坏及如何依观测需求控制流经样品的液体的温度，是为能否顺利观测液态样品的关键。此外，为了驱动所述液体流动而额外增设的驱动源会增加电子显微镜的设备体积及成本。

发明内容

本发明提供一种电子显微镜，可有效率地对待测物进行稳流及温控，且可简化电子显微镜的设备体积及成本。

本发明的电子显微镜包括载台、第一驱动单元、稳流单元及电子源。载台承载待测物。第一驱动单元驱动第一液体沿第一流动路径流动，其中第一流动路径通过待测物。稳流单元配置于第一流动路径上以对第一液体进行稳流，其中第一液体依序流经稳流单元及载台。电子源提供电子束至待测物。

在本发明的一实施例中，上述的载台包括主体及薄膜。主体具有第一流道，其中第一流道内具有稳流斜面。薄膜配置于主体且承载待测物，其中待测物位于第一流道内，第一液体沿第一流道流动而依序通过稳流斜面及待测物。

在本发明的一实施例中，上述的载台包括主体及薄膜。主体具有第一流道及第二流道，其中第一流道及第二流道彼此叠设。薄膜配置于主体且承载待测物，其中待测物位于第一流道内，第一液体沿第一流道流动而通过待测物，第二液体沿第二流道流动而调整第一液体的温度。

在本发明的一实施例中，上述的稳流单元具有两通道，第一液体依序流经一通道及待测物，第二液体依序流经另一通道及载台而调整第一液体的温度，稳流单元分别对第一液体及第二液体进行稳流。

在本发明的一实施例中，上述的电子显微镜包括第一腔体，其中载台配置于第一腔体内，第一驱动单元为抽真空模块，抽真空模块对第一腔体进行抽真空，并驱动第一液体流经待测物。

在本发明的一实施例中，上述的电子显微镜包括夹具，其中夹具适于夹置载台且具有第一导流结构，当夹具夹置载台时，第一导流结构连通载台，第一流动路径通过第一导流结构。

在本发明的一实施例中，第二液体沿第二流动路径流经载台而调整第一液体的温度，夹具具有第二导流结构，当夹具夹置载台时，第二导流结构连通载台，第二流动路径通过第二导流结构。

在本发明的一实施例中，上述的夹具包括座体、两夹持组件及两把手。座体适于承载载台。两夹持组件可动地配置于座体上。两把手相互枢设且分别可动地连接于两夹持组件，其中两把手适于相对枢转而带动两夹持组件夹置或释放载台。

在本发明的一实施例中，上述的载台内具有第一温度感应元件。

在本发明的一实施例中，上述的稳流单元内具有第二温度感应元件。

本发明的电子显微镜包括载台及电子源。载台包括主体及薄膜。主体具有第一流道，其中第一流道内具有稳流斜面。薄膜配置于主体且承载待测物，其中待测物位于第一流道内，第一液体沿第一流道流动而依序通过稳流斜面及待测物。电子源提供电子束至待测物。

在本发明的一实施例中，上述的电子显微镜包括凸状结构，其中凸状结构位于第一流道内而构成稳流斜面。

在本发明的一实施例中，上述的电子显微镜还包括稳流单元，其中第一液体依序流经稳流单元及载台，稳流单元对第一液体进行稳流。

本发明的电子显微镜，包括载台及电子源。载台包括主体及薄膜。主体具有第一流道及第二流道，其中第一流道及第二流道彼此叠设。薄膜配置于主体且承载待测物，其中待测物位于第一流道内，第一液体沿第一流道流动而通过待测物，第二液体沿第二流道流动而调整第一液体的温度。电子源提供电子束至待测物。

在本发明的一实施例中，上述的电子显微镜包括温控单元，其中温控单元控制第二液体的温度。