[发明专利]具有载台的电子显微镜

权利要求书

1.一种具有载台的电子显微镜，其特征在于，包括：

载台，承载待测物且该载台包括主体，其中该主体具有第一流道，该第一流道内具有稳流斜面；

第一驱动单元，驱动第一液体沿第一流动路径流动，其中该第一流动路径通过该待测物；

稳流单元，配置于该第一流动路径上以对该第一液体进行稳流，其中该第一液体依序流经该稳流单元、该稳流斜面及该待测物；以及

电子源，提供电子束至该待测物。

2.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，该载台包括：

薄膜，配置于该主体且承载该待测物，其中该待测物位于该第一流道内，该第一液体沿该第一流道流动而依序通过该稳流斜面及该待测物。

3.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，该主体具有第二流道，该第一流道及该第二流道彼此叠设，该载台包括：

薄膜，配置于该主体且承载该待测物，其中该待测物位于该第一流道内，该第一液体沿该第一流道流动而通过该待测物，第二液体沿该第二流道流动而调整该第一液体的温度。

4.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，该稳流单元具有两通道，该第一液体依序流经一该通道及该待测物，第二液体依序流经另一该通道及该载台而调整该第一液体的温度，该稳流单元分别对该第一液体及该第二液体进行稳流。

5.如权利要求1所述的电子显微镜，包括第一腔体，其特征在于，该载台配置于该第一腔体内，该第一驱动单元为抽真空模块，该抽真空模块对该第一腔体进行抽真空，并驱动该第一液体流经该待测物。

6.如权利要求1所述的电子显微镜，包括夹具，其特征在于，该夹具适于夹置该载台且具有第一导流结构，当该夹具夹置该载台时，该第一导流结构连通该载台，该第一流动路径通过该第一导流结构。

7.如权利要求6所述的电子显微镜，其特征在于，第二液体沿第二流动路径流经该载台而调整该第一液体的温度，该夹具具有第二导流结构，当该夹具夹置该载台时，该第二导流结构连通该载台，该第二流动路径通过该第二导流结构。

8.如权利要求6所述的电子显微镜，其特征在于，该夹具包括：

座体，适于承载该载台；

两夹持组件，移动地配置于该座体上；以及

两把手，相互枢设且分别移动地连接于该两夹持组件，其中该两把手适于相对枢转而带动该两夹持组件夹置或释放该载台。

9.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，该载台内具有第一温度感应元件。

10.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，该稳流单元内具有第二温度感应元件。

11.一种具有载台的电子显微镜，其特征在于，包括：

载台，包括：

主体，具有第一流道，其中该第一流道内具有稳流斜面；以及

薄膜，配置于该主体且承载待测物，其中该待测物位于该第一流道内，第一液体沿该第一流道流动而依序通过该稳流斜面及该待测物；以及

电子源，提供电子束至该待测物。

12.如权利要求11所述的电子显微镜，包括凸状结构，其特征在于，该凸状结构位于该第一流道内而构成该稳流斜面。

13.如权利要求11所述的电子显微镜，还包括稳流单元，其特征在于，该第一液体依序流经该稳流单元及该载台，该稳流单元对该第一液体进行稳流。

14.一种具有载台的电子显微镜，其特征在于，包括：

载台，包括：

主体，具有第一流道及第二流道，其中该第一流道及该第二流道彼此叠设，该第一流道内具有稳流斜面；以及

薄膜，配置于该主体且承载待测物，其中该待测物位于该第一流道内，第一液体沿该第一流道流动而依序通过该稳流斜面及该待测物，第二液体沿该第二流道流动而调整该第一液体的温度；以及

电子源，提供电子束至该待测物。

15.如权利要求14所述的电子显微镜，包括温控单元，其特征在于，该温控单元控制该第二液体的温度。