[发明专利]防止蒸镀材料喷溅及塞孔的坩埚有效
| 申请号： | 201410817470.7 | 申请日： | 2014-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN104593729A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 匡友元;邹清华 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种防止蒸镀材料喷溅及塞孔的坩埚，包括一用于容纳蒸镀材料(2)的埚体(1)、及盖设于埚体(1)开口端的盖体(3)；所述盖体(3)包括上盖(31)、下盖(33)及连接所述上盖(31)与下盖(33)的连接部(32)；所述上盖(31)与下盖(33)沿埚体(1)的轴向间隔开；所述上盖(31)的上开口区域(311)内设有数个上出气孔(313)，所述下盖(33)的下开口区域(331)内设有数个下出气孔(333)，所述数个上出气孔(313)与数个下出气孔(333)不重合。本发明能够提高大直径坩埚内部的热平衡以及温度和蒸镀速率的平衡，解决蒸镀速率不稳定、易堵塞出气孔及预熔时材料喷溅的问题，改善蒸镀制程的稳定性，提高蒸镀设备的稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 材料 喷溅 坩埚 | ||
【主权项】：
一种防止蒸镀材料喷溅及塞孔的坩埚，其特征在于，包括一用于容纳蒸镀材料(2)的埚体(1)、及盖设于所述埚体(1)开口端的盖体(3)；所述盖体(3)包括上盖(31)、下盖(33)及连接所述上盖(31)与下盖(33)的连接部(32)；所述上盖(31)与下盖(33)沿埚体(1)的轴向间隔开；所述上盖(31)的内径等于埚体(1)的外径，位于所述埚体(1)的开口端；所述下盖(33)的外径小于所述埚体(1)的内径，位于所述埚体(1)的内部；所述上盖(31)具有上开口区域(311)，在该上开口区域(311)内设有数个上出气孔(313)，所述下盖(33)具有下开口区域(331)，在该下开口区域(331)内设有数个下出气孔(333)，所述数个上出气孔(313)与数个下出气孔(333)不重合。
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