[发明专利]动态随机存取存储器的有源区接触窗及其制造方法

摘要

本发明提供一种动态随机存取存储器的有源区接触窗及其制造方法，其中的存储器有源区制造方法，包括在基板上形成导电层，覆盖接触窗区域与位线。上述动态随机存取存储器至少包括基板、基板内的隔离结构、经由隔离结构隔开的有源区、穿过有源区的埋入式字线以及基板上的位线，其中每一有源区包括多个接触窗区域。在形成导电层后，去除接触窗区域以外的上述导电层，以形成多个有源区接触窗，再于所述基板上形成绝缘层，覆盖有源区接触窗。

主权项

1.一种动态随机存取存储器的有源区接触窗的制造方法，其特征在于，所述动态随机存取存储器至少包括基板、所述基板内的多个隔离结构、经由所述隔离结构隔开的多个有源区、穿过所述有源区的数条埋入式字线、以及所述基板上的多条位线，其中每一所述有源区包括多个接触窗区域，所述制造方法包括：在所述基板上形成导电层，覆盖所述接触窗区域与所述位线；去除所述接触窗区域以外的所述导电层，以形成多个有源区接触窗；以及在所述基板上形成绝缘层，覆盖所述有源区接触窗。