[发明专利]一种旁路二极管上电极的制备方法

摘要

本发明涉及一种旁路二极管上电极的制备方法。本发明属于物理电源技术领域。一种旁路二极管上电极的制备方法，其特点是：旁路二极管上电极采用光刻技术，将上电极光刻出图形，然后蒸镀上电极，制备过程包括以下工艺步骤：(1)涂胶：采用已做完硼、磷扩散的衬底硅片，在匀胶机上涂布BP218光刻胶；(2)烘胶：在88-93℃条件下，烘干19-22min；(3)曝光：接通光刻机，放好光刻版，曝光16s～20s；(4)显影：硅片放入显影液显影；(5)上电极蒸镀：真空镀膜机上进行电极蒸镀，上电极蒸镀钛层、钯层和银层；(6)去胶：将电池片浸在丙酮溶液中,将其表面的光刻胶去除。本发明具有工艺简单，工艺难度低，加工方便，产品上电极大大降低反向漏电流指标等优点。

主权项

一种旁路二极管上电极的制备方法，其特征是：旁路二极管上电极采用光刻技术，将上电极光刻出图形，然后蒸镀上电极，制备过程包括以下工艺步骤：(1)涂胶采用已做完硼、磷扩散的衬底硅片，将硅片放在匀胶机上，涂布BP218光刻胶，匀胶时间为15s～20s；(2)烘胶在88‑93℃条件下，烘干19‑22min；(4)曝光接通光刻机，光强监测光强15mw/cm²～20mw/cm²，放好光刻版，使光刻版图形在承片台中心位置，光刻版铬面朝向硅片匀胶面，曝光灯光强稳定后，将硅片装入光刻机的承片台上，曝光16s～20s；(5)显影将曝光后的硅片装入硅片承载器内，放入显影液中，显影时间为30s～40s；(6)上电极蒸镀将硅片放在模具上，磷扩面朝下，装入真空室中，将钛、钯、银膜料分别放入对应坩埚内，真空镀膜机上进行电极蒸镀，上电极蒸镀钛层、钯层和银层；(7)去胶将电池片浸在丙酮溶液中,将其表面的光刻胶去除，完成上电极制作。