[发明专利]一种射频超导腔用高纯铌铸锭的制备方法

摘要

本发明公开了一种射频超导腔用高纯铌铸锭的制备方法，该方法为：对铌板条进行3～7次真空电子束熔炼，得到高纯铌铸锭；所述真空电子束熔炼的比电能为8度/kg～12度/kg，真空度不大于5×10^-3Pa。本发明设计合理、方法简单、操作简便，能有效解决传统铌铸锭生产工艺所存在的实际问题，达到稳定化、批量化生产射频超导腔用高纯铌铸锭的要求，采用3～7次真空电子束熔炼，通过控制比电能，制备的铌铸锭的RRR值和成分均符合射频超导腔用高纯铌铸锭的要求。

主权项

一种射频超导腔用高纯铌铸锭的制备方法，其特征在于，该方法为：对铌板条进行3～7次真空电子束熔炼，得到高纯铌铸锭；所述真空电子束熔炼的比电能为8度/kg～12度/kg，真空度不大于5×10^‑3Pa；所述高纯铌铸锭的RRR≥300，高纯铌铸锭中杂质的质量含量为：钽＜500ppm，硅≤100ppm，钨＜50ppm，钼＜50ppm，钛≤1ppm，锆≤1ppm，铜≤1ppm，铬≤1ppm，镍≤1ppm，铁≤1ppm，氧≤10ppm，氮＜10ppm，碳＜10ppm，氢＜1ppm。