[发明专利]一种射频超导腔用高纯铌铸锭的制备方法

权利要求书

1.一种射频超导腔用高纯铌铸锭的制备方法，其特征在于，该方法为：对铌板条进行3～7次真空电子束熔炼，得到高纯铌铸锭；所述真空电子束熔炼的比电能为8度/kg～12度/kg，真空度不大于5×10^-3Pa；所述高纯铌铸锭的RRR≥300，高纯铌铸锭中杂质的质量含量为：钽＜500ppm，硅≤100ppm，钨＜50ppm，钼＜50ppm，钛≤1ppm，锆≤1ppm，铜≤1ppm，铬≤1ppm，镍≤1ppm，铁≤1ppm，氧≤10ppm，氮＜10ppm，碳＜10ppm，氢＜1ppm。

2.根据权利要求1所述的一种射频超导腔用高纯铌铸锭的制备方法，其特征在于，所述铌板条为铝热还原法生产的铌板条。

3.根据权利要求2所述的一种射频超导腔用高纯铌铸锭的制备方法，其特征在于，所述铌板条中杂质的质量含量为：钽≤420ppm，硅≤100ppm，钨＜50ppm，钼＜50ppm，钛≤10ppm，锆≤10ppm，铜≤10ppm，铬≤10ppm，镍≤10ppm，铁≤10ppm，氧＜500ppm，氮＜100ppm，碳＜100ppm。

4.根据权利要求1所述的一种射频超导腔用高纯铌铸锭的制备方法，其特征在于，所述比电能随真空电子束熔炼次数的增加逐次增大。

5.根据权利要求1所述的一种射频超导腔用高纯铌铸锭的制备方法，其特征在于，每次熔炼后将熔炼的铸锭表面扒皮去掉1mm～3mm，然后将扒皮后的铸锭用去离子水清洗干净。