[发明专利]一种镀铜薄膜及其生产工艺有效
| 申请号： | 201410759054.6 | 申请日： | 2014-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN104451555A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 程铁军 | 申请（专利权）人： | 潍坊润诚新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/14;C23C14/56 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 李江 |
| 地址： | 261020 山东省潍坊*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种镀铜薄膜的生产工艺，能够在塑料薄膜层上单面或双面镀铜膜，镀层厚度为0.1~1微米，镀铜薄膜的生产工艺包括铜块的融化和薄膜的卷绕镀，其中铜块的融化是将纯度为99.95%以上的铜放入到高频感应蒸发镀膜电源的坩埚中；并按照重量份计算，相对于铜的比例为300~500：1的比例加入催化剂；将镀铜腔室密封，抽真空至5x10-3Pa~9x10-3Pa；利用4000~8000Hz的高频对高频感应蒸发镀膜电源坩埚中的铜加热，加热温度在1800~2400℃，直至融化。本发明具有镀层厚度厚，并且厚度均匀，结合强度大，牢固性好，抗氧化能力强，导电效果好，金属感强，镀层稳定性好，不仅仅能够实现0.2微米以下的铜镀层的镀铜薄膜生产，还能实现0.2微米以上直至1微米的高厚度铜镀层的镀铜薄膜生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀铜 薄膜 及其 生产工艺 | ||
【主权项】：
一种镀铜薄膜的生产工艺，其特征是：生产工艺包括铜块的融化和薄膜的卷绕镀。
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