[发明专利]一种镀铜薄膜及其生产工艺有效
| 申请号: | 201410759054.6 | 申请日: | 2014-12-12 |
| 公开(公告)号: | CN104451555A | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
| 发明(设计)人: | 程铁军 | 申请(专利权)人: | 潍坊润诚新材料有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;C23C14/14;C23C14/56 |
| 代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人: | 李江 |
| 地址: | 261020 山东省潍坊*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 镀铜 薄膜 及其 生产工艺 | ||
1.一种镀铜薄膜的生产工艺,其特征是:生产工艺包括铜块的融化和薄膜的卷绕镀。
2.根据权利要求1所述的镀铜薄膜的生产工艺,其特征是:所述铜块的融化的具体步骤为:
(1)将纯度为99.95%以上的铜放入到高频感应蒸发镀膜电源的坩埚中;
(2)并按照重量份计算,相对于铜的比例为300~500:1的比例加入催化剂;
(3)将镀铜腔室密封,抽真空至5x10-3Pa~9x10-3Pa;
(4)利用4000~8000Hz的高频对高频感应蒸发镀膜电源坩埚中的铜加热,加热温度在1800~2400℃,直至融化。
3. 根据权利要求2所述的镀铜薄膜的生产工艺,其特征是:催化剂为镍、钛中的一种或两种。
4. 根据权利要求3所述的镀铜薄膜的生产工艺,其特征是:所述薄膜的卷绕镀的具体步骤为:在真空状态下,融化后的铜块继续加热,使得融化的铜气化,气化后的铜在热力作用下在真空仓内高速运动,从坩埚口向外逸出,坩埚口距离薄膜的高度在230~300mm,遇到卷绕在冷却装置上的薄膜后,受冷直接凝结在薄膜上,形成金属铜镀层,薄膜匀速卷绕,镀层逐渐形成,即制得镀铜薄膜。
5. 根据权利要求4所述的镀铜薄膜的生产工艺,其特征是:薄膜的卷绕镀过程中,冷却装置的冷却温度在零下12~18℃。
6. 根据权利要求5所述的镀铜薄膜的生产工艺,其特征是:根据制备的镀铜薄膜的厚度,控制收放卷的卷绕速度,速度控制在100~400米/分钟。
7. 根据权利要求6所述的镀铜薄膜的生产工艺,其特征是:所生产的镀铜薄膜的厚度为1μm,电导率1.8×105S/cm~2.5×105S/cm,与薄膜之间的结合力15~20N/cm。
8. 根据权利要求7所述的镀铜薄膜的生产工艺,其特征是:所生产的镀铜薄膜的背光等级为10级。
9. 根据权利要求8所述的一种镀铜薄膜,其特征是:包括塑料层,所述塑料层的单面或双面镀有铜膜。
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