[发明专利]带电路的悬挂基板的制造方法有效
申请号: | 201410734701.8 | 申请日: | 2014-12-04 |
公开(公告)号: | CN104703400B | 公开(公告)日: | 2018-09-11 |
发明(设计)人: | 田边浩之;金川仁纪 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | H05K3/22 | 分类号: | H05K3/22;G11B5/84 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种带电路的悬挂基板的制造方法,该制造方法包括以下工序:(7)通过蚀刻将与第1端子相对应的第1非电解镀层和/或与第2端子相对应的第2非电解镀层去除的工序;(8)将金属支承基板的、与填充到第1开口部内的第1导体层的下表面相接触的部分去除的工序;以及(9)通过自金属支承基板供电的电解镀来将电解镀层设于第1端子的去除了第1非电解镀层的表面和/或第2端子的去除了第2非电解镀层的表面、以及自第1开口部内暴露的第1导体层的下表面的工序。 | ||
搜索关键词: | 电路 悬挂 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种带电路的悬挂基板的制造方法,其特征在于,该制造方法包括以下工序:(1)以在第1绝缘层上设有沿所述第1绝缘层的厚度方向贯穿所述第1绝缘层的第1开口部和第2开口部的方式将所述第1绝缘层设置在金属支承基板之上的工序;(2)将包含第1端子的第1导体层以填充到所述第1开口部内的方式设置在所述第1绝缘层之上的工序;(3)通过非电解镀将第1非电解镀层设于所述第1导体层的表面的工序;(4)以在第2绝缘层上设有沿厚度方向贯穿第2绝缘层且使所述第1非电解镀层暴露的第3开口部的方式将第2绝缘层设置在所述第1绝缘层之上的工序,其中,以使设于所述第1导体层的表面的所述第1非电解镀层的一部分暴露的方式形成所述第3开口部;(5)将包含第2端子的第2导体层以填充到所述第3开口部内的方式设置在所述第2绝缘层之上或者以填充到所述第2开口部和所述第3开口部的方式设置在所述第2绝缘层和所述第1绝缘层之上的工序;(6)通过非电解镀将第2非电解镀层设于所述第2导体层的表面的工序;(7)通过蚀刻将与所述第1端子相对应的第1非电解镀层和/或与所述第2端子相对应的第2非电解镀层去除的工序;(8)将所述金属支承基板的、与填充到所述第1开口部内的所述第1导体层的下表面相接触的部分去除的工序;以及(9)通过自所述金属支承基板供电的电解镀来将电解镀层设于所述第1端子的去除了所述第1非电解镀层的表面和/或所述第2端子的去除了所述第2非电解镀层的表面、以及自所述第1开口部内暴露的第1导体层的下表面的工序。
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