[发明专利]基于电催化性能提高Cr-Si高阻膜电阻器耐湿热性能的方法

摘要

本发明公开了一种基于电催化性能提高Cr-Si高阻膜电阻器耐湿热性能的方法，首先以Cr粉、Si粉、Ni粉、Mo粉和W粉为原料，通过粉末冶金法制备Cr-Si基靶材，在中频真空冶炼炉中分别炼制Cr-Si-Ni靶材、Cr-Si-Ni-Mo靶材和Cr-Si-Ni-W靶材；再将靶材于磁控溅射镀膜机上制备电阻器高阻膜，并将高阻膜调至阻值为249kΩ，±0.5％；再以纳米二氧化硅增强型酚醛-环氧树脂复合涂料进行封装。本发明在高温、高湿条件下的电阻变化率为0.03％～0.16％。

主权项

一种基于电催化性能提高Cr‑Si高阻膜电阻器耐湿热性能的方法，采用对水具有电催化性能的金属镍Ni及其合金镍钼Ni‑Mo和镍钨Ni‑W对Cr‑Si高阻膜进行改进，步骤如下：(1)以Cr粉、Si粉、Ni粉、Mo粉和W粉为原料，通过粉末冶金法制备Cr‑Si基靶材，在中频真空冶炼炉上分别炼制溅射阻值膜用的Cr‑Si‑Ni靶材、Cr‑Si‑Ni‑Mo靶材和Cr‑Si‑Ni‑W靶材；上述靶材的构成元素及其重量百分比含量分别为：Cr‑Si‑Ni靶材：Cr 40％，Si55％，Ni5％；Cr‑Si‑Ni‑Mo靶材：Cr 40％，Si55％，Ni3％，Mo2％；Cr‑Si‑Ni‑W靶材：Cr 40％，Si55％，Ni3％，W2％；(2)将步骤(1)制备的靶材于磁控溅射镀膜机上制备Cr‑Si‑Ni、Cr‑Si‑Ni‑Mo和Cr‑Si‑Ni‑W电阻器高阻膜，本底真空为3×10^‑3Pa，溅射电压为600V，溅射电流为150mA，Ar流量为20sccm，溅射时间2h，然后在500℃下N₂中退火2h；并将制备的Cr‑Si基电阻器高阻膜调至阻值为249kΩ，±0.5％；(3)对制备的Cr‑Si基高阻膜电阻器，采用纳米二氧化硅增强型酚醛‑环氧树脂复合涂料进行封装；该复合涂料的nano‑SiO₂、EP和PF质量比为3:43:100；(4)按国军标GJB1929‑94标准对封装后的Cr‑Si基高阻膜电阻器进行240h湿热实验。