[发明专利]一种石英坩埚生产工艺

摘要

本发明公开一种石英坩埚生产工艺，具体包括以下步骤：1、石英砂原料，经检验合格后待用；2、将上述石英砂原料加入真空度为0.01pa～0.1pa的金属合金模具内旋转成型；3、真空电弧高温熔制模具内的原料；4、将熔制好的石英坩埚进行自然冷却脱模；5、初步检测石英坩埚，初检合格的石英坩埚石进行喷砂和研磨；6、根据市场客户的需求对石英坩埚做切割和倒角处理；7、对石英坩埚的直径、厚度、弧度进行精确检测；8、对精检后的石英坩埚进行清洗；9、清洗后的石英坩埚先后进行烘干、涂层处理；10、涂层处理后的石英坩埚进行冷、终检和包装入库，本发明解决了传统工艺生产成本高、能耗高、产品气泡数量多、熔制时间长、使用寿命短的弊端。

主权项

一种石英坩埚生产工艺，其特征在于：它包括以下步骤：步骤一、检验原料：石英砂原料，经检验合格后待用；步骤二、真空装料：将上述检验合格的石英砂原料加入真空度为0.01pa～0.1pa的金属合金模具内旋转成型；步骤三、真空电弧高温熔制模具内的原料，控制熔制温度为2200ºC～2600ºC，电极棒起弧电压130V～150V；步骤四、将熔制好的石英坩埚自然冷却至室温进行脱模；步骤五、初步检测石英坩埚，对透明度好、厚度均匀、无明显瑕疵的石英坩埚用喷砂石进行喷砂和研磨；步骤六、根据市场客户的需求对石英坩埚做切割和倒角处理；步骤七、对石英坩埚的直径、透明层和不透明层的厚度、底部弧度、坩埚壁与底部连接处的弧度进行精确检测；步骤八、对精检后的石英坩埚进行酸洗、高压冲洗、超声和高压喷淋；步骤九、清洗后的石英坩埚先后进行烘干、涂层处理；步骤十、涂层处理后的石英坩埚进行冷却至室温，检测坩埚内的气泡含量、黑点杂质、裂纹和划痕，对于那些无明显气泡、黑点杂质、裂纹和划痕的石英坩埚直接包装入库。