[发明专利]一种石英坩埚生产工艺

权利要求书

1.一种石英坩埚生产工艺，其特征在于：它包括以下步骤：

步骤一、检验原料：石英砂原料，经检验合格后待用；

步骤二、真空装料：将上述检验合格的石英砂原料加入真空度为0.01pa～0.1pa的金属合金模具内旋转成型；

步骤三、真空电弧高温熔制模具内的原料，控制熔制温度为2200oC～2600oC，电极棒起弧电压130V～150V；

步骤四、将熔制好的石英坩埚自然冷却至室温进行脱模；

步骤五、初步检测石英坩埚，对透明度好、厚度均匀、无明显瑕疵的石英坩埚用喷砂石进行喷砂和研磨；

步骤六、根据市场客户的需求对石英坩埚做切割和倒角处理；

步骤七、对石英坩埚的直径、透明层和不透明层的厚度、底部弧度、坩埚壁与底部连接处的弧度进行精确检测；

步骤八、对精检后的石英坩埚进行酸洗、高压冲洗、超声和高压喷淋；

步骤九、清洗后的石英坩埚先后进行烘干、涂层处理；

步骤十、涂层处理后的石英坩埚进行冷却至室温，检测坩埚内的气泡含量、黑点杂质、裂纹和划痕，对于那些无明显气泡、黑点杂质、裂纹和划痕的石英坩埚直接包装入库。

2.如权利要求1所述的一种石英坩埚生产工艺，其特征在于：步骤一所述的石英砂原料为国产石英砂和美国尤尼明高纯石英砂的混合物。

3.如权利要求2所述的一种石英坩埚生产工艺，其特征在于：所述的国产石英砂和美国尤尼明高纯石英砂的配比为1:1或者是6:4或者是7:3。

4.如权利要求4所述的一种石英坩埚生产工艺，其特征在于：所述的酸洗用的是HF，所述的高压冲洗和高压喷淋用的是纯水。

5.如权利要求1所述的一种石英坩埚生产工艺，其特征在于：步骤九所述的烘干包括烘房烘干和烘箱烘干。

6.如权利要求1所述的一种石英坩埚生产工艺，其特征在于：步骤九所述的涂层是用Ba(OH)₂稀溶液涂在石英坩埚的内表面。

7.如权利要求1所述的一种石英坩埚生产工艺，其特征在于：它包括如下步骤：

步骤一、检验原料：石英砂原料，经检验合格后待用；

步骤二、真空装料：将上述检验合格的石英砂原料加入真空度为0.04pa的金属合金模具内旋转成型；

步骤三、真空电弧高温熔制模具内的原料，控制熔制温度为2200oC，电极棒起弧电压130V；

步骤四、将熔制好的石英坩埚自然冷却至室温进行脱模；

步骤五、初步检测石英坩埚，对透明度好、厚度均匀、无明显瑕疵的石英坩埚用喷砂石进行喷砂和研磨；

步骤六、根据市场客户的需求对石英坩埚做切割和倒角处理；

步骤七、对石英坩埚的直径、透明层和不透明层的厚度、底部弧度、坩埚壁与底部连接处的弧度进行精确检测；

步骤八、对精检后的石英坩埚进行酸洗、高压冲洗、超声和高压喷淋；

步骤九、清洗后的石英坩埚先后进行烘干、涂层处理；

步骤十、涂层处理后的石英坩埚进行冷却至室温，检测坩埚内的气泡含量、黑点杂质、裂纹和划痕，对于那些无明显气泡、黑点杂质、裂纹和划痕的石英坩埚直接包装入库。

8.一种石英坩埚生产工艺，其特征在于：它包括以下步骤：

步骤一、检验原料：石英砂原料，经检验合格后待用；

步骤二、真空装料：将上述检验合格的石英砂原料加入真空度为0.06pa的金属合金模具内旋转成型；

步骤三、真空电弧高温熔制模具内的原料，控制熔制温度为2300oC，电极棒起弧电压140V；

步骤四、将熔制好的石英坩埚自然冷却至室温进行脱模；

步骤五、初步检测石英坩埚，对透明度好、厚度均匀、无明显瑕疵的石英坩埚用喷砂石进行喷砂和研磨；

步骤六、根据市场客户的需求对石英坩埚做切割和倒角处理；

步骤七、对石英坩埚的直径、透明层和不透明层的厚度、底部弧度、坩埚壁与底部连接处的弧度进行精确检测；

步骤八、对精检后的石英坩埚进行酸洗、高压冲洗、超声和高压喷淋；

步骤九、清洗后的石英坩埚先后进行烘干、涂层处理；

步骤十、涂层处理后的石英坩埚进行冷却至室温，检测坩埚内的气泡含量、黑点杂质、裂纹和划痕，对于那些无明显气泡、黑点杂质、裂纹和划痕的石英坩埚直接包装入库。

9.一种石英坩埚生产工艺，其特征在于：它包括以下步骤：

步骤一、检验原料：石英砂原料，经检验合格后待用；

步骤二、真空装料：将上述检验合格的石英砂原料加入真空度为0.08pa的金属合金模具内旋转成型；

步骤三、真空电弧高温熔制模具内的原料，控制熔制温度为2500oC，电极棒起弧电压145V；

步骤四、将熔制好的石英坩埚自然冷却至室温进行脱模；

步骤五、初步检测石英坩埚，对透明度好、厚度均匀、无明显瑕疵的石英坩埚用喷砂石进行喷砂和研磨；

步骤六、根据市场客户的需求对石英坩埚做切割和倒角处理；

步骤七、对石英坩埚的直径、透明层和不透明层的厚度、底部弧度、坩埚壁与底部连接处的弧度进行精确检测；

步骤八、对精检后的石英坩埚进行酸洗、高压冲洗、超声和高压喷淋；

步骤九、清洗后的石英坩埚先后进行烘干、涂层处理；

步骤十、涂层处理后的石英坩埚进行冷却至室温，检测坩埚内的气泡含量、黑点杂质、裂纹和划痕，对于那些无明显气泡、黑点杂质、裂纹和划痕的石英坩埚直接包装入库。