[发明专利]蒸镀设备及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201410659080.1 | 申请日： | 2014-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN104313538B | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 张金中 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;张博 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀设备及蒸镀方法，属于真空蒸镀技术领域。其中，该蒸镀设备包括蒸镀腔和设置于所述蒸镀腔中的蒸发源，所述蒸镀腔中还设置有用于放置待蒸镀的基板的蒸镀基台，所述蒸发源的开口朝向所述蒸镀基台，所述蒸镀设备还包括：设置在所述蒸发源侧的阴极；设置在所述蒸镀基台侧的阳极；用于向所述蒸镀腔内输入惰性气体的惰性气体提供装置。本发明的技术方案能够提高蒸镀过程中待成膜物质的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀方法，应用于蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备，包括蒸镀腔和设置于所述蒸镀腔中的蒸发源，所述蒸镀腔中还设置有用于放置待蒸镀的基板的蒸镀基台，所述蒸发源的开口朝向所述蒸镀基台，所述蒸镀设备还包括：设置在所述蒸发源侧的阴极，设置在所述蒸镀基台侧的阳极，用于向所述蒸镀腔内输入惰性气体的惰性气体提供装置，所述蒸镀基台位于所述阳极与所述蒸发源之间，所述蒸镀方法包括：将所述蒸镀腔抽至高真空状态，并利用所述惰性气体提供装置向所述蒸镀腔内输入惰性气体；将待蒸镀的基板传送至所述蒸镀腔内；在所述阳极与所述阴极之间产生高频电场，使得所述惰性气体电离产生惰性气体离子和电子；对所述蒸发源进行加热，蒸发出的待成膜物质能够吸附所述电子向所述阳极移动，在所述基板表面形成薄膜。
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