[发明专利]蒸镀设备及蒸镀方法

说明书

本发明提供了一种蒸镀设备及蒸镀方法，属于真空蒸镀技术领域。其中，该蒸镀设备包括蒸镀腔和设置于所述蒸镀腔中的蒸发源，所述蒸镀腔中还设置有用于放置待蒸镀的基板的蒸镀基台，所述蒸发源的开口朝向所述蒸镀基台，所述蒸镀设备还包括：设置在所述蒸发源侧的阴极；设置在所述蒸镀基台侧的阳极；用于向所述蒸镀腔内输入惰性气体的惰性气体提供装置。本发明的技术方案能够提高蒸镀过程中待成膜物质的利用率。

技术领域

本发明涉及真空蒸镀技术领域，特别是指一种蒸镀设备及蒸镀方法。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)显示装置由于具有自发光、无需背光模组、对比度以及清晰度高、视角宽、全固化、适用于挠曲性面板、温度特性好、低功耗、响应速度快以及制造成本低等一系列优异特性，已经成为新一代平面显示装置的重点发展方向之一，因此日益受到越来越多的关注。

现有技术中，OLED显示器件的基本结构包括阳极层，功能膜层以及阴极层等；上述功能膜层包括：空穴传输层、有机发光层以及电子传输层等；其中，有机发光层的成膜方法有很多种，包括蒸镀成膜法、分子束外延法、有机化学气相沉积法以及溶胶-凝胶法等；其中，蒸镀成膜法由于具有操作简单、膜厚容易控制、对薄膜的污染小以及易于实现掺杂等优点，现有技术中多采用蒸镀成膜法形成有机发光层等有机功能膜层，即在真空环境下，将有机材料加热使其蒸发(升华)，并沉积到目标基板上形成对应的功能膜层。

如图1所示，现有的真空蒸镀设备包括蒸镀腔3，蒸镀腔3中设置有蒸发源4和基板1，基板1位于蒸发源4的正上方，蒸镀腔3壁上设置有真空抽气孔2，真空抽气孔2连接于蒸镀腔3外部的真空泵，在真空蒸镀过程中，蒸发源4向基板1蒸发气化的有机材料分子，使气化的有机材料分子飞向基板1上成膜，图中箭头方向表示有机材料分子的流动方向。然而，有机材料分子的流动方向是各向同性的，有机材料被蒸镀在基板1上的同时有大量的有机材料被蒸镀到了蒸镀腔3壁上，使得大量有机材料被浪费，导致有机材料的利用率很低。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种蒸镀设备及蒸镀方法，能够提高蒸镀过程中待成膜物质的利用率。

为解决上述技术问题，本发明的实施例提供技术方案如下：

一方面，提供一种蒸镀设备，包括蒸镀腔和设置于所述蒸镀腔中的蒸发源，所述蒸镀腔中还设置有用于放置待蒸镀的基板的蒸镀基台，所述蒸发源的开口朝向所述蒸镀基台，所述蒸镀设备还包括：

设置在所述蒸发源侧的阴极；

设置在所述蒸镀基台侧的阳极；

用于向所述蒸镀腔内输入惰性气体的惰性气体提供装置。

优选地，所述阴极的材料采用Mo。

优选地，所述蒸发源为长方体，所述阴极设置在所述蒸发源的四个侧边。

优选地，所述蒸镀基台位于所述阳极与所述蒸发源之间。

优选地，所述蒸镀设备还包括用于放置在所述基板与所述蒸发源相背一侧的磁板，所述磁板上设置有所述阳极。

优选地，所述蒸镀设备还包括用于放置在所述基板与所述蒸发源相对一侧的金属掩膜板。

优选地，所述金属掩膜板与所述阳极通过导线连接。

本发明实施例还提供了一种蒸镀方法，应用于上述的蒸镀设备，所述蒸镀方法包括：

将所述蒸镀腔抽至高真空状态，并利用所述惰性气体提供装置向所述蒸镀腔内输入惰性气体；

将待蒸镀的基板传送至所述蒸镀腔内；

在所述阳极与所述阴极之间产生高频电场，使得所述惰性气体电离产生惰性气体离子和电子；