[发明专利]工艺数据的处理方法和装置

摘要

本发明提出一种工艺数据的处理方法和装置。其中，该方法包括：获取采集的多个工艺数据，其中，多个工艺数据中包括多个采集时间点a₀-a_n以及多个采集时间点a₀-a_n对应的多个工艺参数值b₀-b_n；根据多个采集时间点生成多个插值区间；获取插值点集合，其中，插值点集合中包括n个插值点x_n，n为正整数；以及获取插值点集合中每个插值点x所处的插值区间，并根据每个插值点所处的插值区间计算每个插值点x对应的工艺参数值y。本发明实施例的工艺数据的处理方法，针对采集到的工艺数据缺失情况，最大限度的发掘工艺数据信息，保证了工艺过程中的工艺数据的完备性，有利于监测人员的查看，为后续的工艺数据的分析工作提供了完整有效的数据支持。

主权项

一种工艺数据的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：获取采集的多个工艺数据，其中，所述多个工艺数据中包括多个采集时间点a₀‑a_n以及所述多个采集时间点a₀‑a_n对应的多个工艺参数值b₀‑b_n；根据所述多个采集时间点生成多个插值区间；获取插值点集合，其中，所述插值点集合中包括n个插值点x_n，n为正整数；以及获取所述插值点集合中每个插值点x所处的插值区间，并根据所述每个插值点所处的插值区间计算所述每个插值点x对应的工艺参数值y。