[发明专利]工艺数据的处理方法和装置在审

专利信息
申请号: 201410654414.6 申请日: 2014-11-17
公开(公告)号: CN105676792A 公开(公告)日: 2016-06-15
发明(设计)人: 相会凤 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 张大威
地址: 100176 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 工艺 数据 处理 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种工艺数据的处理方法,其特征在于,包括以下步骤:

获取采集的多个工艺数据,其中,所述多个工艺数据中包括多个采集时间点a0-an以及 所述多个采集时间点a0-an对应的多个工艺参数值b0-bn

根据所述多个采集时间点生成多个插值区间;

获取插值点集合,其中,所述插值点集合中包括n个插值点xn,n为正整数;以及

获取所述插值点集合中每个插值点x所处的插值区间,并根据所述每个插值点所处的 插值区间计算所述每个插值点x对应的工艺参数值y。

2.如权利要求1所述的工艺数据的处理方法,其特征在于,所述根据所述每个插值点 所处的插值区间计算所述每个插值点x对应的工艺参数值y具体包括:

如果x≤a0,则y=b0

3.如权利要求1所述的工艺数据的处理方法,其特征在于,所述根据所述每个插值点 所处的插值区间计算所述每个插值点x对应的工艺参数值y具体包括:

如果x∈[ai,ai+1],则其中,[ai,ai+1]为所述多个插值区间中 的一个,bi是采集时间点ai对应的工艺参数值,bi+1是采集时间点ai+1对应的工艺参数值。

4.如权利要求1所述的工艺数据的处理方法,其特征在于,所述根据所述每个插值点 所处的插值区间计算所述每个插值点x对应的工艺参数值y具体包括:

如果x≥an,则y=bn

5.一种工艺数据的处理装置,其特征在于,包括:

第一获取模块,用于获取采集的多个工艺数据,其中,所述多个工艺数据中包括多个 采集时间点a0-an以及所述多个采集时间点a0-an对应的多个工艺参数值b0-bn

生成模块,用于根据所述多个采集时间点生成多个插值区间;

第二获取模块,用于获取插值点集合,其中,所述插值点集合中包括n个插值点xn,n 为正整数;以及

计算模块,用于获取所述插值点集合中每个插值点x所处的插值区间,并根据所述每 个插值点所处的插值区间计算所述每个插值点x对应的工艺参数值y。

6.如权利要求5所述的工艺数据的处理装置,其特征在于,所述计算模块具体用于:

如果x≤a0,则y=b0

7.如权利要求5的工艺数据的处理装置,其特征在于,所述计算模块具体用于:

如果x∈[ai,ai+1],则其中,[ai,ai+1]为所述多个插值区间中 的一个,bi是采集时间点ai对应的工艺参数值,bi+1是采集时间点ai+1对应的工艺参数值。

8.如权利要求5所述的工艺数据的处理装置,其特征在于,所述计算模块具体用于:

如果x≥an,则y=bn

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