[发明专利]工艺数据的处理方法和装置在审
申请号: | 201410654414.6 | 申请日: | 2014-11-17 |
公开(公告)号: | CN105676792A | 公开(公告)日: | 2016-06-15 |
发明(设计)人: | 相会凤 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 张大威 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工艺 数据 处理 方法 装置 | ||
1.一种工艺数据的处理方法,其特征在于,包括以下步骤:
获取采集的多个工艺数据,其中,所述多个工艺数据中包括多个采集时间点a0-an以及 所述多个采集时间点a0-an对应的多个工艺参数值b0-bn;
根据所述多个采集时间点生成多个插值区间;
获取插值点集合,其中,所述插值点集合中包括n个插值点xn,n为正整数;以及
获取所述插值点集合中每个插值点x所处的插值区间,并根据所述每个插值点所处的 插值区间计算所述每个插值点x对应的工艺参数值y。
2.如权利要求1所述的工艺数据的处理方法,其特征在于,所述根据所述每个插值点 所处的插值区间计算所述每个插值点x对应的工艺参数值y具体包括:
如果x≤a0,则y=b0。
3.如权利要求1所述的工艺数据的处理方法,其特征在于,所述根据所述每个插值点 所处的插值区间计算所述每个插值点x对应的工艺参数值y具体包括:
如果x∈[ai,ai+1],则其中,[ai,ai+1]为所述多个插值区间中 的一个,bi是采集时间点ai对应的工艺参数值,bi+1是采集时间点ai+1对应的工艺参数值。
4.如权利要求1所述的工艺数据的处理方法,其特征在于,所述根据所述每个插值点 所处的插值区间计算所述每个插值点x对应的工艺参数值y具体包括:
如果x≥an,则y=bn。
5.一种工艺数据的处理装置,其特征在于,包括:
第一获取模块,用于获取采集的多个工艺数据,其中,所述多个工艺数据中包括多个 采集时间点a0-an以及所述多个采集时间点a0-an对应的多个工艺参数值b0-bn;
生成模块,用于根据所述多个采集时间点生成多个插值区间;
第二获取模块,用于获取插值点集合,其中,所述插值点集合中包括n个插值点xn,n 为正整数;以及
计算模块,用于获取所述插值点集合中每个插值点x所处的插值区间,并根据所述每 个插值点所处的插值区间计算所述每个插值点x对应的工艺参数值y。
6.如权利要求5所述的工艺数据的处理装置,其特征在于,所述计算模块具体用于:
如果x≤a0,则y=b0。
7.如权利要求5的工艺数据的处理装置,其特征在于,所述计算模块具体用于:
如果x∈[ai,ai+1],则其中,[ai,ai+1]为所述多个插值区间中 的一个,bi是采集时间点ai对应的工艺参数值,bi+1是采集时间点ai+1对应的工艺参数值。
8.如权利要求5所述的工艺数据的处理装置,其特征在于,所述计算模块具体用于:
如果x≥an,则y=bn。
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