[发明专利]固态图像传感器件及其制造方法

摘要

本发明提供了一种固态图像传感器件及其制造方法，改善了图像传感器的性能。在平面图中，氟被引入到放大晶体管的栅极电极GE1中的与沟道区域重叠的部分中，但不被引入到半导体衬底1S的内部中。具体地，如图20所示，按照使栅极电极GE1中的与沟道区域平面地重叠的部分开口的方式，对抗蚀膜FR1进行图案化。然后，将其中形成开口OP1的抗蚀膜FR1用作掩膜，通过离子注入法，将氟注射到从开口OP1中暴露出来的栅极电极GE1的内部中。

主权项

1.一种用于制造固态图像传感器件的方法，所述固态图像传感器件设置有具有成像区域的半导体衬底，所述成像区域中形成有多个像素，其中所述成像区域形成有：光电转换部，用于将入射光转换为电荷；以及放大晶体管，用于放大基于所述电荷的电信号，每个所述放大晶体管包括：源极区域和漏极区域，按照彼此隔离的方式形成在所述半导体衬底中；沟道区域，夹设在所述源极区域与所述漏极区域之间；栅极绝缘膜，形成在所述沟道区域之上；以及栅极电极，形成在所述栅极绝缘膜之上，所述方法包括以下步骤：(a)在所述半导体衬底之上形成所述栅极绝缘膜；(b)在所述栅极绝缘膜之上形成第一导电膜；(c)将所述第一导电膜图案化，并形成所述栅极电极；(d)在所述步骤(c)之后，在所述半导体衬底中形成所述源极区域和所述漏极区域；(e)在所述步骤(d)之后，在平面图中，将氟引入到所述栅极电极中的与所述沟道区域重叠的部分中；以及(f)在所述步骤(e)之后，加热所述半导体衬底。