[发明专利]应用石墨烯的高探测率氮化镓基肖特基型紫外探测器

摘要

应用石墨烯的高探测率氮化镓基肖特基型紫外探测器，其基本结构从下往上依次为重掺杂n型氮化镓、轻掺杂n型氮化镓、二氧化硅绝缘层、金属电极、石墨烯薄膜。金属电极拥有透明、导电的性质，并且拥有半金属性。在和轻掺杂n型GaN直接接触的情况下，能形成大约0.5ev的势垒。形成之势垒表现为接近金属电极的GaN内部能带弯曲，形成空间电荷区可以进行分离电子空穴，从而产生光生电动势和光生电流。通过引入表面缺陷的方法可以大大提高探测器的响应度。这一结构工艺简单，效率高；从而增加电子空穴对的分离能力，增大探测器内量子效率，增大探测率和响应度。

主权项

一种应用石墨烯的高探测率氮化镓基肖特基型紫外探测器，其特征在于：该激光器的基本结构从下往上依次为重掺杂n型氮化镓(101)、轻掺杂n型氮化镓(102)、二氧化硅绝缘层(103)、金属电极(104)、石墨烯薄膜(105)。