[发明专利]脆性材料基板的刻划装置有效
| 申请号： | 201410638487.6 | 申请日： | 2014-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN104803592B | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 冈岛康智 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/02 | 分类号： | C03B33/02 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够不产生母基板的垂落或高低起伏地以上下的刀轮精度佳地进行刻划的刻划装置。该刻划装置具备有：前部输送带1a及后部输送带1b，是在同一水平面上隔有既定的间隙P且串联地配置，以载置成为加工对象的脆性材料基板M并进行搬送；上部刀轮2a及下部刀轮2b，是配置于所述前部输送带1a与后部输送带1b的间隙P；以及上部空气喷出构件8a及下部空气喷出构件8b，是配置于间隙P内、上部刀轮2a及下部刀轮2b的各个的侧旁部分，以朝向脆性材料基板M的上下两面喷出空气。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性 材料 刻划 装置 | ||
【主权项】：
1.一种脆性材料基板的刻划装置，其特征在于其具备：前部输送带及后部输送带，是在同一水平面上隔有既定的间隔且串联地配置，以载置成为加工对象的脆性材料基板并进行搬送；上部刀轮及下部刀轮，是配置于所述前部输送带及后部输送带之间；以及上部空气喷出构件及下部空气喷出构件，是配置于该前部输送带与后部输送带之间、该上部刀轮及下部刀轮的各个的侧旁部分，以朝向该脆性材料基板的上下两面喷出空气；该上下的空气喷出构件，设定成在该刀轮的周边喷出的长度，且安装于保持刀轮的刻划头，以与该刀轮一起移动。
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